論文

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2019年11月1日

Surface analysis and pumping speed measurements of oxygen-free palladium/titanium nonevaporable getter after heating at 100–450 °C

Journal of Vacuum Science & Technology B

巻: 37
号: 6
記述言語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1116/1.5111879

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DOI: https://doi.org/10.1116/1.5111879
Scopus: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85074786564&origin=inward
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URL: http://orcid.org/0000-0002-3613-0021

ID情報

DOI : 10.1116/1.5111879
ISSN : 2166-2746
eISSN : 2166-2754
ORCIDのPut Code : 65216306
SCOPUS ID : 85074786564

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