2017年4月 - 2018年3月 真空排気技術の革新的展開:長寿命低活性化温度非蒸発ゲッターコーティングの開発 TIA 平成29年度TIA連携プログラム調査研究 間瀬 一彦 担当区分 研究代表者 資金種別 競争的資金