1998年
Effects of plasma irradiation on polysilane thin films
Nuclear Instwments and Methods in Physics Research B
- 巻
- 135
- 号
- 1/4
- 開始ページ
- 270
- 終了ページ
- 274
- DOI
- 10.1016/S0168-583X(97)00613-7
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1016/S0168-583X(97)00613-7
- ISSN : 0168-583X
- CiNii Articles ID : 80010319662