共同研究・競争的資金等の研究課題

2019年4月 - 2021年3月

集積化のためのマイクロ波吸収の測定装置及び計測法

日本学術振興会  科学研究費補助金
  • 加藤 初弘
  • ,
  • 小川 和也
  • ,
  • 加藤 初弘

配分額
(総額)
3,300,000円
(直接経費)
3,300,000円
(間接経費)
990,000円
資金種別
競争的資金

集積回路との融合を目指して,平面回路を用いて材料のマイクロ波吸収を効率的に測定できる装置と計測技術を開発する.