産業財産権

特許権

拡散面一点微小変位自動計測処理装置

  • 松田 文夫

特許番号/登録番号
特許第4161059号
登録日
発行日
2005年9月6日

拡散面の面垂直方向の変位を計測する装置において、
拡散面と参照面からの反射光によって生じる干渉縞と、
これを読みとる光学装置と、
この画像を処理して拡散面の変位によって生じる同心円上の干渉縞の円中心方向への沈み込みまたは円中心からの湧き上がりの移動を算出する部分と
干渉縞の移動を参照面の面垂直方向の変位によって相殺させる部分と
相殺するために参照面に面垂直方向に与えた変位から拡散面の面垂直方向の変位を算出する部分と、
を備えた、
ことを特徴とする計測処理装置