<p>単色光を物質に入射し、光電効果で放出される光を検出する光電子分光に対して、逆光電子分光は、物質に電子線を入射し、放出された光を検出することにより、物質の非占有電子状態の詳細な情報を直接得ることが可能である。しかしながら、光電子分光と比べ、分解能が非常に悪いという課題がある。今回我々は、この課題を解決するべく、GaAsP/GaAsをベースにした歪み超格子結晶をフォトカソードとして利用した電子銃と、回折格子とX線CCDを取り付けた分光計の開発を行ったている。今回の発表では、新たに開発した電子銃と検出器の性能評価のこれまでに得られている結果を報告する。</p>