牧村哲也 (Tetsuya Makimura) - 論文

Micrometer-Scale Photo-Direct Machining of Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma EUV Radiations

H. Urai, T. Makimura, M. Ogawa

Springer Proceedings in Physics 202 383 - 386 2018年査読有り

Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm

Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 87(12) 2016年12月査読有り

Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses

Ragava Lokasani, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeshi Higashiguchi, Jiri Limpouch

APPLIED PHYSICS LETTERS 109(19) 2016年11月査読有り

高パワー密度狭帯域軟X線加工装置の開発とシリコーンゴムの微細加工

鳥居, 周一, 牧村, 哲也, 村上, 浩一, 岡崎, 功太, 中村, 大輔, 岡田, 龍雄, 高橋, 昭彦, 新納, 弘之

電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2012(1) 5 - 8 2012年3月

国際会議報告 LPM2011会議報告

杉岡, 幸次, 新納, 弘之, 牧村, 哲也

レーザ加工学会誌 19(1) 42 - 50 2012年3月

Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x-rays

Tetsuya, Makimura, Shuichi, Torii, Hiroyuki, Niino, Kouichi, Murakami

Proceedings of SPIE 8206 2012年1月

Ablation of Silica Glass Induced by Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation

Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Shuichi Torii, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN 94(9) 30 - 35 2011年9月査読有り

Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of CO2 laser with Fresnel diffraction

K. Okazaki, S. Torii, T. Makimura, H. Niino, K. Murakami, D. Nakamura, A. Takahashi, T. Okada

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING 104(2) 593 - 599 2011年8月査読有り

Micromachining of Polymethylmethacrylate and Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma Soft X-rays

S., Torii, K., Okazaki, D., Nakamura, T., Makimura, T., Okdada, H., Niino, K., Murakami

Journal of Laser Micro/Nanoengineering 6 235-238 2011年1月査読有り

Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation

K. Okazaki, S. Torii, T. Makimura, H. Niino, K. Murakami, D. Nakamura, A. Takahashi, T. Okada

JOURNAL OF LASER MICRO NANOENGINEERING 5(3) 269 - 272 2010年12月査読有り

レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションメカニズム

鳥居, 周一, 牧村, 哲也, 新納, 弘之, 村上, 浩一

レーザー研究 38(12) 987 - 991 2010年12月査読有り

XUV-X線による材料加工

牧村, 哲也, 新納, 弘之, 鳥居, 周一, 村上, 浩一

レーザー研究 38(12) 957 - 962 2010年12月査読有り

Micromachining of Silica Glass Using EUV Radiation of Laser-Produced Plasma (特集量子ビームによるナノバイオエレクトロニクス)

Takahashi, Akihiko, Torii, Shuichi, Makimura, Tetsuya, Murakami, Kouichi, Okazaki, Kota, Nakamura, Daisuke, Okada, Tatsuo, Niino, Hiroyuki

電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 130(10) 1779 - 1783 2010年10月査読有り

Direct Etching of Poly(methyl methacrylate) Using Laser Plasma Soft X-rays

Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Kouta Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami

APPLIED PHYSICS EXPRESS 3(6) 2010年査読有り

Micromachining of silica glass using EUV radiation of laser-produced plasma

A., Takahashi, S., Torii, T., Makimura, K., Murakami, K., Okazaki, D., Nakamura, T., Okada, H., Niino

IEEJ Trans. EIS 130(10) 1779-1783 2010年1月査読有り

Nano- and micromachining using laser plasma soft X-rays

Tetsuya, Makimura, Shuichi, Torii, Hiroyuki, Niino, Kouichi, Murakami

Journal of Nanophotonics 4 040305 2010年1月査読有り

レーザー生成EUV光によるシリカガラスのアブレーション

鳥居, 周一, 牧村, 哲也, 新納, 弘之, 村上, 浩一

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 394 27 - 32 2009年12月

赤外レーザーと近接場光を組み合わせたシリカガラスの微細加工

岡崎, 功太, 鳥居, 周一, 牧村, 哲也, 新納, 弘之, 村上, 浩一, 中村, 大輔, 高橋, 昭彦, 岡田, 龍雄

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 395 23 - 28 2009年12月

レーザープラズマ軟X線アブレーションによる微細加工

牧村, 哲也, 鳥居, 周一, 新納, 弘之, 村上, 浩一

表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan 60(11) 687 - 692 2009年11月

Ablation process of silica glass induced by laser plasma soft X-ray irradiation

Shuichi Torii, Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami

APPLIED SURFACE SCIENCE 255(24) 9840 - 9842 2009年9月査読有り