特許権
プラズマ処理装置
沖野 晃俊, 宮原 秀一, 株式会社サンライン
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- 出願番号
- 特願2016-010813
- 出願日
- 2016年1月22日
- 公開番号
- 特開2016-129138
- 公開日
- 2016年7月14日
- 特許番号/登録番号
- 特許第6224139号
- 登録日
- 2017年10月13日
- 発行日
- 2017年10月13日
- ID情報
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- J-Global ID : 201803013347486329