高偉 (Wei Gao) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学大学院工学研究科・工学部ファインメカニクス専攻ナノメカニクス講座精密ナノ計測学分野教授

学位: 博士(工学)(東北大学)

J-GLOBAL ID: 200901053507837284
researchmap会員ID: 1000183697

外部リンク: http://web.tohoku.ac.jp/nanometrology/index.html

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研究分野

経歴

2022年4月 - 現在

高エネルギー加速器研究機構 (KEK), 客員教授
2016年12月 - 現在

重慶大学, 客員教授
2007年4月 - 現在

東北大学, 大学院工学研究科, 教授
1998年4月 - 2007年3月

東北大学, 工学部, 助教授
1998年2月 - 1998年12月

ロースカロライナシャーロット校, 精密計測センター, 客員研究教授
1996年7月 - 1998年3月

東北大学, 工学部, 講師
1994年4月 - 1996年6月

東北大学, 工学部, 助手

受賞

2021年3月

精密工学会沼田記念論文賞, 公益社団法人精密工学会

清水裕樹, 真野和樹, 村上裕記, 廣田駿介, 松隈啓, 高偉
2019年4月

文部科学大臣表彰科学技術賞（研究部門）, 自律的校正法に基づく精密ナノ計測学の構築と応用の研究, 文部科学省
2019年3月

精密工学会沼田記念論文賞, Design and testing of a compact non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale grating, 公益社団法人精密工学会

清水裕樹, 相原涼, 真野和樹, Chong Chen, Yuan-Liu Chen, Xiuguo Chen, 高偉
2018年6月

工作機械技術振興賞（論文賞）, An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement, 公財）工作機械技術振興財団

清水裕樹, 工藤幸利, 陳遠流, 伊東聡, 高偉
2018年3月

精密工学会論文賞, （公社）精密工学会

清水裕樹, 工藤幸利, 陳遠流, 伊東聡, 高偉
2017年11月

優秀講演論文表彰, Ultra-precision angle sensor with a mode-locked laser source, （一社）日本機械学会生産加工・工作機械部門

S. Madokoro, Y. Shimizu, Y. Chen, W. Gao
2017年9月

Best Paper Award, Non-contact detection of surface defects by using a micro thermal sensor, 第１３回計測技術と知的測定機に関する国際会議（ISMTII）組織委員会

Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
2016年8月

Spindle Error Motion Measurement of Concentricity Gage by Using Laser Scan Micrometer, 第５回国際ナノ加工に関する国際会議（nanoMan）組織委員会

Zengyuan Niu, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
2015年11月

Excellent Paper Award, The Editional and Review Committee of the 11st CJUMP

Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
2015年11月

Excellent Paper Award, Excellent Paper Award, The Editional and Review Committee of the 11st CJUMP

Niu Zengyuan, Yuan-Liu Chen, Daiki Matsuura, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
2015年6月

工作機械技術振興賞(論文賞), 公益社団法人工作機械技術振興財団

張城豪, 清水裕樹, 伊東聡,高偉
2014年9月

Exellent paper award, Design of an optical system for evaluation of edge contour of a diamond cutting tool, IMEKO

Yuki Shimizu, SungHo Jang, Wei Gao
2013年11月

優秀講演論文表彰, Constrction of a surface profile measurement system by using a nanopipette ball probe with shear-force detection, 日本機械学会

Issei Kodama, So Ito, Wei Gao
2012年10月

優秀講演論文表彰, 接触型熱検知センサによる平滑面欠陥検出の実験的原理検討, 日本機械学会

盧文剣, 清水裕樹, 高偉, 大場裕太
2011年3月

精密工学会沼田記念論文賞, Design and construction of a two-degree-of-freedom linear encoder for nanometric measurement of stage position and straightness, （社）精密工学会
2010年3月

精密工学会論文賞, マイクロ切削工具切れ刃形状の三次元測定装置に関する研究ー測定装置の構築と切れ刃形状測定実験ー, 精密工学会

浅井岳見, 義和荒井, 高偉」
2009年12月

Best Paper Award, Development of a highly sensitive angle sensor by using single-cell photodiodes, ASPEN2009

Tatsuro Suzuki」「Yusuke Saito」「Yoshikazu Arai」「Wei Gao」
2007年11月

Contribution Award, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
2005年3月

ファナックFAロボット財団論文賞, サーフェスエンコーダのための大面積２次元正弦波格子形状の精密ナノ創成と評価, （財）ファナックロボット財団

高偉, 荒木武, 清野慧, 岡崎祐一, 山中将
2004年3月

精密工学会賞, Precision Nano-fabrication and evaluation of a large sinusoidal grid surface for a surface encoder, （社）精密工学会

高偉, 荒木武, 清野慧, 岡崎祐一, 山中将

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論文

514

An absolute surface encoder employing a mode-locked femtosecond laser

Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Holography, Diffractive Optics, and Applications XIV 47-47 2024年11月23日
Improvement of angle measurement sensitivity using second harmonic wave interference

Jiahui Lin, Hiraku Matsukuma, Kuangyi Li, Ryo Sato, Wei Gao

Optics Express 32(23) 40915-40915 2024年10月25日
Design and testing of a two-axis surface encoder with a single Littrow configuration of a first-order diffraction beam

Yifan Hong, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Precision Engineering 2024年10月
A dual-detection chromatic confocal probe employing a mode-locked femtosecond laser

Ryo Sato, Chen Li, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Optical Manufacturing and Testing 2024 1-1 2024年9月30日
Advanced Sensing and Machine Learning Technologies for Intelligent Measurement in Smart and Precision Manufacturing

Ryo Sato, Kuangyi Li, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Wei Gao

International Journal of Automation Technology 18(4) 545-580 2024年7月5日
An Improved Data Processing Algorithm for Spectrally Resolved Interferometry Using a Femtosecond Laser

Tao Liu, Hiraku Matsukuma, Amane Suzuki, Ryo Sato, Wei Gao

Sensors 24(9) 2869-2869 2024年4月30日
Design of an Optical Head with Two Phase-Shifted Interference Signals for Direction Detection of Small Displacement in an Absolute Surface Encoder

Ryo Sato, Tao Liu, Satoru Maehara, Ryota Okimura, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

International Journal of Automation Technology 18(2) 249-256 2024年3月
Enhanced Data-Processing Algorithms for Dispersive Interferometry Using a Femtosecond Laser

Tao Liu, Hiraku Matsukuma, Amane Suzuki, Ryo Sato, Wei Gao

Sensors 24(2) 370-370 2024年1月8日
Repetition Frequency Control of a Mid-Infrared Ultrashort Pulse Laser

Hiraku Matsukuma, Masashi Nagaoka, Hisashi Hirose, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Wei Gao

International Journal of Automation Technology 18(1) 84-91 2024年1月5日
On-Machine Calibration of Pitch Deviations of a Linear Scale Grating by Using a Differential Angle Sensor

Jiucheng Wu, Yifang Hong, Dong Wook Shin, Ryo Sato, Lue Quan, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

International Journal of Automation Technology 18(1) 4-10 2024年1月
Angle Measurement Based on Second Harmonic Generation Using Artificial Neural Network

Kuangyi Li, Zhiyang Zhang, Jiahui Lin, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Nanomanufacturing and Metrology 6(1) 2023年12月
Improved peak- to- peak method for cavity length measurement of a Fabry- Perot etalon using a mode-locked femtosecond laser

Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Eberhard Manske, Wei Gao

OPTICS EXPRESS 31(16) 25797-25814 2023年7月
Signal Processing and Artificial Intelligence for Dual-Detection Confocal Probes

Ryo Sato, Xinghui Li, Andreas Fischer, Liang-Chia Chen, Chong Chen, Rintaro Shimomura, Wei Gao

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2023年6月27日
Improved Algorithms of Data Processing for Dispersive Interferometry Using a Femtosecond Laser

Tao Liu, Jiucheng Wu, Amane Suzuki, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

SENSORS 23(10) 2023年5月
Machine tool calibration: Measurement, modeling, and compensation of machine tool errors

Wei Gao, Soichi Ibaraki, M. Alkan Donmez, Daisuke Kono, J.R.R. Mayer, Yuan-Liu Chen, Károly Szipka, Andreas Archenti, Jean-Marc Linares, Norikazu Suzuki

International Journal of Machine Tools and Manufacture 187 104017-104017 2023年4月
Confocal probe based on the second harmonic generation for measurement of linear and angular displacements

Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiroki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

OPTICS EXPRESS 31(7) 11982-11993 2023年3月
Autocollimation employing optical frequency comb

H. Matsukuma, K. Ikeda, R. Sato, W. Gao

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 12607 2023年
Investigation of Angle Measurement Based on Direct Third Harmonic Generation in Centrosymmetric Crystals

Kuangyi Li, Jiahui Lin, Zhiyang Zhang, Ryo Sato, Hiroki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

APPLIED SCIENCES-BASEL 13(2) 2023年1月
Fabry-Pérot angle sensor using a mode-locked femtosecond laser source

Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Wei Gao

Optics Express 30(26) 46366-46382 2022年12月19日
Self-Calibration of a Large-Scale Variable-Line-Spacing Grating for an Absolute Optical Encoder by Differencing Spatially Shifted Phase Maps from a Fizeau Interferometer

Xin Xiong, Chenguang Yin, Lue Quan, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Hideaki Tamiya, Wei Gao

Sensors 22(23) 2022年12月

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MISC

195

Signal Processing and Artificial Intelligence for Dual-Detection Confocal Probes

Ryo Sato, Xinghui Li, Andreas Fischer, Liang Chia Chen, Chong Chen, Rintaro Shimomura, Wei Gao

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2023年
Optical metrology for precision engineering

Wei Gao, Yuki Shimizu

Optical Metrology for Precision Engineering 1-644 2021年11月22日
Optical angle sensor technology based on the optical frequency comb laser

Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland) 10(11) 2020年6月1日
モード同期レーザーを用いた共焦点プローブ

佐藤遼, 清水裕樹, 仲村拓, 松隈啓, 高偉

光アライアンス 31(2) 2020年
中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用

松隈啓, 阿隅結夢, 長岡将史, 清水裕樹, 高偉

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020 2020年
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計-

清水裕樹, 高園翔太, 神田悠利, 松隈啓, 稲場肇, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020 2020年
精密位置決め技術の最新動向と要素技術を活かした設計への展開 PART1 最新の位置決め技術解説1 精密位置決めのための多軸センサ活用

清水裕樹, 松隈啓, 高偉

機械設計 64(9) 2020年
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計と基礎特性評価-

清水裕樹, 高園翔太, 神田悠利, 松隈啓, 稲場肇, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020 2020年
Optical sensors for multi-axis angle and displacement measurement using grating reflectors

Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Sensors (Switzerland) 19(23) 2019年12月1日
微細光学表面計測用プローブ顕微鏡技術

松隈啓, 清水裕樹, GAO Wei

光技術コンタクト 57(8) 2019年
高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究第2報:光線追跡による第2高調波の角度特性の解明

松隈啓, 間所周平, 清水裕樹, 高偉

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019 2019年
非直交型2軸ロイドミラー干渉計による2軸スケール回折格子パターニング-偏光制御ユニット改良によるパターン高精度化-

清水裕樹, 真野和樹, 松永雅教, 村上佑記, 松隈啓, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019 2019年
高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究

松隈啓, 間所周平, 清水裕樹, 高偉

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019 2019年
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサに関する研究-シングルモードファイバの適用-

清水裕樹, 高園翔太, 中村一貴, 松隈啓, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019 2019年
光周波数コムを用いた角度センサの研究

中村一貴, 松隈啓, 清水裕樹, GAO Wei

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(Web) 54th 2019年
2軸微細格子製作のための小型露光装置の開発

松永雅教, 真野和樹, 松隈啓, 清水裕樹, GAO Wei

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(Web) 54th 2019年
精密測定のためのファイバ型光周波数コムの開発

神田悠利, 松隈啓, 清水裕樹, 稲場肇, GAO Wei

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(Web) 54th 2019年
高精度走査プローブ顕微鏡技術

清水裕樹, 松隈啓, 高偉

先端加工技術 (104) 2018年
精密位置決め技術の最新動向と有効活用のポイント PART1 精密位置決めの最新技術とその適用解説4 精密位置決めのためのセンサ活用

清水裕樹, 松隈啓, 伊東聡, 高偉

機械設計 62(9) 2018年
マイクロ熱検知センサを利用したエンコーダに関する研究

清水裕樹, 松野優紀, 石田彩華, 松隈啓, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018 2018年

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書籍等出版物

Bilingual edition 精密計測学 Precision Metrology

高偉, 清水裕樹

朝倉書店 2024年4月1日 (ISBN: 4254201788)
Optical Metrology for Precision Engineering

Wei Gao, Yuki Shimizu

De Gruyter 2021年12月6日 (ISBN: 3110541092)
Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication

Wei Gao

Elsevier 2020年10月
Metrology

(担当:編者(編著者))

Springer 2019年8月 (ISBN: 9789811049378)
計測工学 Measurement and Instrumentation

高偉, 清水裕樹, 羽根一博, 祖山均, 足立幸志 (担当:共著)

朝倉書店 2017年3月
Evaluation of Nanometer Cutting Tool Edge for Nanofabrication

Yuki Shimizu, Takemi Asai, Wei Gao (担当:共著, 範囲:A chapter in the book of Nanofabrication)

InTech 2011年
Precision Nanometrology : Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

Wei Gao

Springer 2010年
Precision Control of Planar Motion Stages: Design and Implementation of Precision Motion Control Strategies

Wei Gao, Songyi Dian (担当:共著)

VDM Verlag 2010年
実用精密位置決め技術事典

高偉 (担当:共著)

（株）産業技術サービスセンター 2009年
An XYθ planar motion stage system driven by a surface motot for precision positioning

Wei Gao (担当:共著, 範囲:a chapter in the book of Smart Devices and Machines for Advanced Manufacturing)

Springer-Verlag 2008年
機械工学便覧

高偉 (担当:共著, 範囲:計測工学)

日本機械学会編 2007年
An Intelligent Nanofabrication Probe with Function of Surface Displacement/Profile Measurement

Wei Gao (担当:共著, 範囲:a chapter in the book of Condition-Based Monitoring and Control for Intelligent Manufacturing)

Springer-Verlag 2006年8月2日
超精密加工と非球面加工（庄司克雄監修）

高偉 (担当:共著, 範囲:第8章精密加工のためのナノ計測)

（株）NTS 2004年7月30日