2005年3月 ファナックFAロボット財団論文賞 (財)ファナックロボット財団 高 偉, 荒木 武, 清野 慧, 岡崎祐一, 山中 将 タイトル サーフェスエンコーダのための大面積2次元正弦波格子形状の精密ナノ創成と評価 受賞区分 出版社・新聞社・財団等の賞 受賞国・地域 日本