2008年
An XYθ planar motion stage system driven by a surface motot for precision positioning
- 担当区分
- 共著
- 担当範囲
- a chapter in the book of Smart Devices and Machines for Advanced Manufacturing
- 出版者・発行元
- Springer-Verlag
- 記述言語
- 英語
- 著書種別
- 学術書