2006年 - 2008年
次世代マイクロダイヤモンドツールの3Dナノメートルエッジ形状の高速高精度計測
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(A) 基盤研究(A)
先端のコ-ナ半径が非常に小さな(1μm程度)超精密切削加工用のダイヤモンドツールのエッジの形状を原子間力顕微鏡(AFM)により計測するため, 専用の計測装置を製作した. また, 計測の際に必要となるAFMプローブとツールとの位置合わせ(アライメント)を実現するため, 光プローブを利用したアライメント機構を開発した.
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- 課題番号 : 18206016
- 体系的課題番号 : JP18206016