MISC

2017年6月29日

サブ波長格子を用いたTHz波用Si反射防止構造の製作 (マイクロマシン・センサシステム研究会マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

電気学会研究会資料. MSS

小杉厚貴
金森義明
羽根一博
南出泰亜

巻: 2017
号: 1
開始ページ: 5
終了ページ: 8
記述言語: 日本語
掲載種別
出版者・発行元: 電気学会

リンク情報

CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/40021255925
URL: http://id.ndl.go.jp/bib/028363541

ID情報

CiNii Articles ID : 40021255925

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