2002年10月20日
Silicon Optical MEMS: Three Dimensional Micromachining and Integration
ECS Seventh International Symposium on Magnetic Materials, Processes, and Devices
- 記述言語
- 会議種別
- 口頭発表（招待・特別）
- 開催地
- アメリカ合衆国 Solt Lake City
Session"Actuators and MEMS" No.540 Thusday 23, Oct. 2002