2021年1月26日
Multileveled tunable silicon grating array bonded on large scale integration substrate by polymers
Journal of Optical Microsystems
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- 巻
- 1
- 号
- 01
- 開始ページ
- 013501-1
- 終了ページ
- 013501-13
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1117/1.jom.1.1.013501
- 出版者・発行元
- SPIE-Intl Soc Optical Eng
- ID情報
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- DOI : 10.1117/1.jom.1.1.013501
- ISSN : 2708-5260