産業財産権

特許権

FE-STEM法による微小部密度測定方法

電力中央研究所,日立製作所
  • 石田政義
  • ,
  • 岡本達希
  • ,
  • 中泉, 泰
  • ,
  • 中川美音

出願番号
特願平5-102153
出願日
1993年4月28日