杉山 進 更新日: 18/12/08 03:16
経歴
2008年4月
立命館ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ･ｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝ研究機構・教授
2007年4月
-
2008年3月
立命館大学COE推進機構・教授
1995年4月
-
2007年3月
立命館大学理工学部・教授
2000年12月
-
2010年12月
立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター・センター長
1998年4月
-
2002年3月
立命館大学SRセンター・副センター長
委員歴
1995年5月
-
2012年
MYU K.K., Tokyo Sensors and Materials(MYU K.K., Tokyo) 編修委員長
1998年4月
-
2002年3月
立命館大学SRセンター 立命館大学SRセンター副センター長
2000年12月
-
2010年12月
立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター 立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター長
2002年10月
-
2007年3月
文部科学省 文部科学省21世紀COEプログラム拠点リーダー
2007年5月
-
2011年
エレクトロニクス実装学会 エレクトロニクス実装学会理事
受賞
2012年8月
京都府知事 山田啓二 京都府知事より「感謝状」授与
2012年5月
電気学会 電気学会平成24年第21回業績賞
2011年5月
電気学会 電気学会フェローの称号を授与
2009年11月
（社）日本分析化学会 「東京コンファレンス2009」優秀ポスター賞、（社）日本分析化学会
2008年11月
IEEE MHS MHS2008(IEEE) 最優秀論文賞
論文
Mitsuhiro Horade and Susumu Sugiyama
Microsystem Technologies, Vol.19, Issue 3, Mar.2013, Springer-Verlag 19(3) 357-362 2013年3月
Mitsuhiro Horade and Susumu Sugiyama
Microsystem Technologies, Vol.19, Issue 3, Mar.2013, Springer-Verlag 19(3) 351-356 2013年3月
田中雄介、田中克彦、杉山 進、塩見尚礼、来見良誠、谷 徹、高橋 修
電気学会論文誌Ｅ 132(11) 420-424 2012年11月
Nam Cao Hoai Le, Dzung Viet Dao, Ryuji Yokokawa, Thien Duy Nguyen, John C. Wells and Susumu Sugiyama
Journal of Micro-Nano Mechatronics, Springer-Verlag (2012) 45-59 2012年8月
Susumu Sugiyama, Satoshi Amaya and Dzung Viet Dao
Advances in Natural Sciences: Nanoscience and Nanotechnology, Vol.3, No.1, Mar. 2012, IOP Publishing Ltd. 3(1) 015009 (7pp) 2012年3月
書籍等出版物
Recent Advances in Nanofabrication Techniques and Applications, Ed. by Bo Cui, Chapter 16: Fabrication of 3-D Structures Utilizing Synchrotron Radiation Lithography
洞出光洋、杉山 進
In-Tech, Vienna, Austria 2011年12月 ISBN:978-953-307-602-7
Nanowires, Chapter15: Electronic States and Piezoresistivity in Silicon Nanowires
Koichi Nakamura, Dzung Viet Dao, Yoshitada Isono, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama
In-Tech, Vienna, Austria 2010年2月 ISBN:978-953-7619-79-4
MEMS/NEMS工学全集、桑野博喜 監修、第3章 MEMS/NEMSプロセス基盤技術、第10節 厚膜プロセス、1．LIGA
杉山 進
テクノシステム 2009年4月
Springer Proceedings in Physics, Vol.127: Physics and Engineering of New Materials, "Design and Fabrication of a Miniaturized Three-Degree-of-Freedom Piezoresistive Acceleration Sensor Based on MEMS T echnology Using Deep Reactive Ion Etching"
Vu Ngoc Hung, Nguyen Van Minh, Le Van Minh, Nguyen Huu Hung, Dzung Viet Dao, Chu Manh Hoang, Ranjith Amarasinghe, Bui Thanh Tung and Susumu Sugiyama
Springer Berlin Heidelberg 2009年1月 ISBN:978-3-540-88200-8
ナノテクノロジーハンドブックⅠ編 創る（第１分冊）、ナノテクノロジーハンドブック編集委員会編、5章ナノ構造の製作技術、5・3 LIGAプロセス
杉山 進
オーム社 2003年5月
講演・口頭発表等
Application of Polymer MEMS to Material Fatigue Testing
(ICAMN 2014) The 2nd Int'l Conf. on Advanced Materials and Nanotechnology, Hanoi, Vietnam, Oct.29-Nov.1, 2014 2014年10月30日
ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のり
電気学会センサ・マイクロマシン部門大会、第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、2014年10月20-22日、島根県松江市、くにびきメッセ、22am2-B1(6p) 2014年10月22日
静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験
電気学会センサ・マイクロマシン部門大会、第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、2014年10月20-22日、島根県松江市、くにびきメッセ、21pm3-PS6(6p) 2014年10月21日
Fatigue Testing of PMMA Using Polymer MEMS Actuator Fabricated by Hot Embossing
(APCOT 2014) The 7th Asia-Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies, Jun.29-July 2, 2014, Daegu, Korea, Proc. 14-1(2p) 2014年7月2日
Monolithic Biochips Based on Evanescent Excitation for Highly-sensitive Fluorescent Detection
(IWNA 2013) The 4th Int'l Workshop on Nanotechnology and Application, Nov.14-16,2013, Vung Tau, Vietnam 2013年11月14日
競争的資金等の研究課題
京都環境ナノクラスター
文部科学省・地域産学官連携科学技術振興事業費補助事業イノベーションシステム整備事業地域イノベーションクラスタープログラム（グローバル型）
研究期間: 2010年 - 2010年
ポリマーMEMSデバイスの製作技術開発
文部科学省・地域イノベーションクラスタープログラム
研究期間: 2010年 - 2010年
特許
特開平11-065111 : レジスト膜の形成方法及び超小型構造体の作製方法
特開2000-162056 : 半導体ひずみゲージ及びそれを用いたひずみ測定方法
特開2000-206696 : Ｘ線露光用レジスト基板及びその製造方法、該レジスト基板を用いた金型の製造方法並びに該金型を用いたマイクロ部品の製造方法
