特許権 シリコン酸化膜の製造方法 株式会社豊田自動織機, 国立大学法人愛媛大学 村瀬 仁俊, 下 俊久, 野村 信福, 豊田 洋通, 山下 浩, 倉本 誠 出願番号 特願2005-099536 出願日 2005年3月30日 公開番号 特開2006-274426 公開日 2006年10月12日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903049343058513URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903049343058513 ID情報 J-Global ID : 200903049343058513