堀内敏行 (Toshiyuki Horiuchi) - マイポータル - researchmap

基本情報

学位: 博士(工学)

J-GLOBAL ID: 200901081318142350
researchmap会員ID: 1000225760

研究キーワード

2

研究分野

2

経歴

4

学歴

2

- 1970年

東京大学, 工学部, 機械工学科
- 1970年

東京大学

委員歴

2

MISC

64

Application of laser scan lithography to fabrication of microcylindrical parts

Y Joshima, T Kokubo, T Horiuchi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(6B) 4031-4035 2004年6月
ずらし＝重露光による大ピッチラインパターン解像限界k1値の改善

次世代リソグラフィワークショップ予稿集 186-189 2004年
レーザースキャンによるレジスト表面の曲面加工と円柱面上のレジスト加工

フォトポリマー懇話会第148回 II-1-II-11 2004年
低開口数投影露光リソグラフィを用いた厚膜レジストパタン形成とマイクロ部品製造への応用

廣田克範, 堀内敏行

精密工学会誌 70(1) 138-143 2004年
Study on resolution limit for large-pitch line patterns using a newly developed Slim-Line Imaging Double-Exposure Recipe

2004 ICO International Conference Optics & Photonice in Technology Frontier 355-356 2004年
Improved Projection-matrix-expoeere using a liquid crystal display panel for printing smooth arbitrary patterns without reticles

ELSEVIER 73-74(48-52) 2004年
Improvement of the liquid-crystal-display matrix exposure using an aperture plate for reshaping cell windows

T Horiuchi, H Kobayashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(1) 394-400 2004年1月
Fabrication of silver nano-noodles

Y Iwanabe, T Horiuchi, J Tominaga, D Buchel, C Mihalcea

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS 42(10A) L1208-L1209 2003年10月
Low-cost and high-performance micro-fabrication method using low numerical-aperture optical projection lithography on copper-clad plastic boards

K Hirota, M Ozaki, T Horiuchi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 42(6B) 4031-4036 2003年6月
New projection exposure using a double-line matrix of optical fibers in place of a reticle

T Horiuchi, S Aichi, Y Kawamura

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 42(4A) 1820-1827 2003年4月
Pacing-induced spontaneous activity in myocardial sleeves of pulmonary veins after treatment with ryanodine

H Honjo, MR Boyett, R Niwa, S Inada, M Yamamoto, K Mitsui, T Horiuchi, N Shibata, K Kamiya, Kodama, I

CIRCULATION 107(14) 1937-1943 2003年4月
Application of laser scan lithography to fabrication of micro cylindrical parts

Yuuki Joshima, Tadashi Kokubo, Toshiyuki Horiuchi

Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2003 - 2003 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2003 150-151 2003年
Improved Projection-Matrix-Exposeere Using Liquid Crystal Display for Printing Smooth Arbitrary Patterns without Preparing Reticles

Abstracts, Micro and Nano Engineering 2003 148 2003年
Sarcoplasmic Reticulum Ca²⁺ Release Is Not a Dominating Factor in Sinoatrial Node Pacemaker Activity

Circulation Research February21, 2003, 1-4 2003年
光リソグラフィを応用したマイクロ加工の研究

千代田区４大学共同研究開発交流会 p. 40 2002年8月
複合機械システムのモデリングと動的シミュレーションに基づく設計支援システムの開発（共著）

東京電機大学総合研究所年報 p. 255-260 2002年7月
マトリックス投影露光と金属堆積によるマイクロ部品成形技術の研究（共著）

東京電機大学総合研究所年報 p. 91-98 2002年7月
最先端リソグラフィ技術の開発動向（共著）

電気学会技術報告第883号 2002年5月
超軽量角速度センサの小型飛翔ロボット制御への適用性

堀内敏行, 中岡健悟, 富沢洋介

東京電機大学工学部研究報告 (50) 29-39 2002年
Low Cost and High Performance Micro-fabrication Method Using Low NA Projection Lithography on Copper Clad Plastic Boards, Digest of Papers（共著）

Digest of Papers, Microprocesses and Nanotechnology 2002 p. 190-191 2002年

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所属学協会

4

共同研究・競争的資金等の研究課題

6

産業財産権

13