査読有り 2009年7月 マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置におけるマイクロ波とプラズマの自己無撞着解析に関する検討 電子情報通信学会技術研究報告. MW, マイクロ波 109(158) pp.111-114 畑口 雅人 エクスポート BibTeX RIS