2015年12月
２ 大気圧ペン型プラズマによるDLCの局所成膜
第56回真空に関する連合講演会（つくば国際会議場, 2015）3Ga06、予稿集 p.201
- 巻
- 35
- 号
- 開始ページ
- 395
- 終了ページ
- 395
- DOI
- 10.14886/sssj2008.35.0_395
- 出版者・発行元
- 公益社団法人 日本表面科学会
注射針にガスを導入してRF(13.56MHz)電圧を印加することで生成する大気圧非平衡ペン型プラズマを用いて、CH4を原料とした化学気相成長（CVD）法でSi、アルミニウム、SUS基板上にDLC膜を局所的コーティングするプロセス条件を探索する。合成した膜の特性をSEM、FT-IR、ラマン分光分析により調べる。
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- ID情報
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- DOI : 10.14886/sssj2008.35.0_395
- CiNii Articles ID : 130005489444