論文

査読有り
2003年1月

Influences of Process Parameters on Cathode Surface Roughness in Low Pressure Arc Discharge with Aluminum Cathode

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
  • 責任著者]H. Matsuo
    • ,
  • 共著者]T. Mizuno
    • ,
  • M
    • ,
  • Kando,T. Takahashi
巻
169-170
号
開始ページ
478
終了ページ
481
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