TANAKA Shuji

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Name
TANAKA Shuji
URL
http://db.tohoku.ac.jp/whois/e_detail/4f94d6af88612887f98559bd2ee6a364.html
Affiliation
Tohoku University
Section
Graduate School of Engineering Department of Robotics Nanosystems Smart System Integration
Job title
Professor
Degree
博士(工学)(The University of Tokyo)
Other affiliation
Tohoku University

Research Interests

 
 

Committee Memberships

 
Oct 2017
 - 
Today
IEEE  Vice-chair, Group 4 Chair, Technical Program Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
 
Jun 2017
 - 
Today
IEEE  Member, International Steering Committee of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
 
Apr 2015
 - 
Today
IEEE  Member, Steering Committee of IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)
 
Apr 2013
 - 
Today
日本機械学会  日本機械学会論文集 アソシエイトエディタ
 
Apr 2013
 - 
Today
日本機械学会  マイクロ・ナノ工学部門 運営委員
 

Awards & Honors

 
Jan 2018
for contributions to micro-electromechanical systems for acoustic wave devices, physical sensors, and power generation, IEEE Fellow, IEEE
Winner: Shuji Tanaka
 
Mar 2017
厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術, 応用物理学会 第8回集積化MEMSシンポジウム 優秀論文賞, 応用物理学会
Winner: 森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 熊野勝文, 戸津健太郎, 平野栄樹, 田中秀治
 
Feb 2017
Outstanding Reviewer Awards 2016, Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP Publishing
Winner: Shuji Tanaka
 
Oct 2016
シーソ電極型触覚センサとセンサプラットフォームLSIの積層実装デバイスの作製と動作検証, 電気学会 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞, 電気学会
Winner: 畑良幸, 中山貴裕, 藤吉基弘, 橋本昭二, 大平喜恵, 大村義輝, 田中秀治, 室山真徳
 
Oct 2016
表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製, 電気学会 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀技術論文賞, 電気学会
Winner: 鈴木裕輝夫, 福士秀幸, 室山真徳, 畑良幸, 中山貴裕, 平野栄樹, 野々村裕, 田中秀治
 

Published Papers

 
進化し続けるMEMSの技術と応用 ~ デバイス・モジュールメーカーとプラットフォーマーの時代 ~
田中秀治
電子情報通信学会 集積化光デバイスと応用技術特別研究専門委員会, 第2回集積化光デバイスと応用研究会 -IoT時代の集積フォトニクス-      Nov 2017   [Invited]
On-chip electrochromic micro display for a disposable bio-sensor chip
Yanjun Zhu, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka
Journal of Micromechanics and Microengineering   27 125012   Nov 2017   [Refereed]
3-Axis Fully-Integrated Capacitive Tactile Sensor with Flip-Bonded CMOS on LTCC Interposer
Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka
Sensors   17 2451   Oct 2017   [Refereed]
Zhen Zhoua, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
Sensors and Actuators A   266 352-360   Oct 2017   [Refereed]
Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Yoshiteru Omura, Takahiro Nakayama, Motohiro Fujiyoshi, Hirofumi Funabashi, Teruhisa Akashi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
Sensors and Actuators A   266 24-35   Oct 2017   [Refereed]

Misc

 
LSI上MEMSによるヘテロ集積化
江刺正喜, 田中秀治
エレクトロニクス実装学会誌   20(6) 372-375   Sep 2017
MEMS業界の動向 ~ MEMS & Sensors Executive Congress 2016も踏まえて ~
田中秀治
次世代センサ   27(1) 18-21   Jul 2017
スマート社会に求められるMEMS
田中秀治
自動化推進   46(1) 2-6   Feb 2017
IoT社会の中でのMEMS
田中秀治
日本機械学会誌   119 506-509   Sep 2016
Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
Micromachines   7(8) 137   Aug 2016

Books etc

 
先端部材への応用に向けた最新粉体プロセス技術
田中秀治 (Part:Joint Work, 第3篇第3章 ガラスまたはLTCCの陽極接合によるウェハレベルMEMSパッケージング)
シーエムシー出版   Mar 2017   
精密加工と微細構造の形成技術
田中秀治 (Part:Joint Work, 第6章第1節 [13] 陽極接合によるウェハレベルMEMSパッケージングとその信頼性)
技術情報協会   Jul 2013   
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
田中秀治 (Part:Joint Work, 第6章 バルクマイクロマシニング技術とそのデバイス)
シーエムシー出版   Nov 2012   
IC Guide Book 2, 未来を創る!半導体
田中秀治 (Part:Joint Work, 海外拠点の現状とその比較)
電子情報技術産業協会   Mar 2012   
2011 マイクロマシン/MEMS技術大全
田中秀治 (Part:Joint Work, 第10章 Power MEMS, 第2編第1節 Power MEMS/マイクロ燃料電池)
電子ジャーナル   Aug 2011   

Patents

 
US 7739675 B2 : 弾性表面波式センサ
勅使河原明彦, 高畑利彦, 岩城隆雄, 田中秀治, 江刺正喜, 橋本研也
特許第6139377号 : センサ装置およびその製造方法
田中秀治, 室山真徳, 江刺正喜, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整
特許第6132047号 : 圧力センサとその製造方法
田中秀治, ヨーク フロメル, トーマス ゲスナー
特許第6104087号 : 偏光解消素子及び偏光解消装置
EPC特許番号第2490004号, DE特許番号第60 2009 037 181.9号 : シート状触覚センサシステム
室山真徳, 江刺正喜, 田中秀治, 松崎栄, 巻幡光俊, 野々村裕, 藤吉基弘, 中山貴裕, 山田整, 山口宇唯

Social Contribution

 
ホワイトスペースを選択して無線通信 東北大学などが1チップ可変SAWフィルタ―を共同開発
[Informant]  電波新聞ハイテクノロジー  15 May 2014
One-Chip SAW Filter for Wireless Taps Free Bandwidth of TV White Space
[Informant]  Asia Electronics Industry 5月号(電波新聞社)  7 May 2014
ワンチップ可変SAWフィルタ― 東北大、村田製作所、NICT、千葉大など開発 コグニティブ無線機に搭載、実験成功
[Informant]  科学新聞  20 Mar 2014
テレビ空き周波数を通信に スマホ向け可変フィルタ― 東北大や村田製作所が新製造法で実現
[Informant]  日経エレクトロニクス  17 Mar 2014
地デジ空き電波活用 スマホ用、小形通信部品 東北大や村田製作所
[Informant]  日経産業新聞  27 Feb 2014