2013年9月 ウェハレベル・ヘテロ集積化技術とその応用 金属 田中秀治, 平野栄樹, 門田道雄, 江刺正喜 巻 83 号 9 開始ページ 21 終了ページ 28 記述言語 日本語 掲載種別 記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア） エクスポート BibTeX RIS
