2013年2月 進展するMEMS技術 -集積化，パッケージング，オープンコラボレーション等- 月刊ディスプレイ 江刺正喜, 田中秀治 巻 2 号 開始ページ 1 終了ページ 6 記述言語 日本語 掲載種別 記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア） エクスポート BibTeX RIS
