2017年8月
Stylus type MEMS texture sensor covered with corrugated diaphragm
Journal of Micromechanics and Microengineering
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- 巻
- 27
- 号
- 開始ページ
- 95006
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
田中 秀治
タナカ シュウジ (Shuji Tanaka)
更新日: 01/31