特許権 マイクロ波を用いた不純物ドープ金属酸化物の製造方法 吉川 暹, 園部 太郎, 篠原 真毅, 三谷 友彦, 蜂谷 寛 出願番号 特願2010-500724 出願日 2009年2月25日 公開番号 特開特許国際公開WO2009/107681 公開日 2009年9月3日
