本論文では、結晶異方性プラズマエッチングを用いた複雑3次元シリコン構造の提案として、カンチレバーと微細針を作製した。提案する方法は、従来法に比べて少ない工数・装置数で簡便に製作でき、カンチレバー製作においては、従来法とほぼ同一の歩留りで、製作時間を5分の1に短縮でき、提案する加工法の有用性を示した。また、単一のドライエッチング装置での複雑3次元シリコン構造製作の可能性を示した。今後、単一装置での新たな3次元シリコン構造の提案を行うと共に、結晶異方性プラズマエッチングのメカニズム解明を進め、より制御性の高い加工技術へと展開をする。