触針式の表面粗さ測定において，プローブの走査速度が速すぎる場合には，触針の慣性モーメントの影響により触針先端が試料表面から浮き上がってしまう．これは測定の忠実性を大きく損ない，触針式粗さ計の測定の効率を制限する．これまでにも数々の実験ならびにシミュレーションが行われているが，本研究では，導電体の触針を用いて実際の測定時の触針の浮き上がりをとらえることにより，走査速度の上限を求めた．