稲見隆 (Takashi Inami) - マイポータル

基本情報

学位: 博士（工学）

J-GLOBAL ID: 200901015255368821
researchmap会員ID: 5000064130

研究分野

経歴

茨城大学工学部マテリアル工学科准教授

学歴

- 1974年

茨城大学工学研究科

MISC

LSIの高性能化を実現する高純度Gu配線技術

大貫仁, 玉橋邦裕, 篠嶋妥, 稲見隆

金属 84(1) 31-39 2014年
線幅100nm以下微細銅配線の結晶粒分布評価

稲見隆, 大貫仁

検査技術 19(3) 2014年
EBSD Analysis of Microstructures Along the Depth Direction in Very Narrow Cu Wires

Yiqing Ke, Takashi Namekawa, Kunihiro Tamahashi, Takashi Inami, Jin Onuki

ELECTROCHEMISTRY 81(4) 246-250 2013年4月
EBSD Analysis of Microstructures Along the Depth Direction in Very Narrow Cu Wires

Yiqing Ke, Takashi Namekawa, Kunihiro Tamahashi, Takashi Inami, Jin Onuki

ELECTROCHEMISTRY 81(4) 246-250 2013年4月
ナノ微細配線および薄膜における結晶粒径の非破壊評価法

稲見隆, 大貫仁

ケミカルエンジニアリング 58 499-503 2013年
Development of the grain size evaluating process in very narrow Cu interconnects

Takashi Inami, Kishio Hidaka, Shohei Terada, Jin Onuki

ECS Electrochemistry Letters 2(11) D49-D51 2013年
Evaluation of Grain Size Distributions of 50nm Wide Cu Interconnects by X-ray Diffraction Method

T. Inami, J. Onuki

PROCESSING MATERIALS OF 3D INTERCONNECTS, DAMASCENE AND ELECTRONICS PACKAGING 4 50(32) 57-60 2013年
Development of the grain size evaluating process in very narrow Cu interconnects

Takashi Inami, Kishio Hidaka, Shohei Terada, Jin Onuki

ECS Electrochemistry Letters 2(11) D49-D51 2013年
Evaluation of Grain Size Distributions of 50nm Wide Cu Interconnects by X-ray Diffraction Method

T. Inami, J. Onuki

PROCESSING MATERIALS OF 3D INTERCONNECTS, DAMASCENE AND ELECTRONICS PACKAGING 4 50(32) 57-60 2013年
Evaluation of Grain Size Distributions of Cu Interconnects with less than 100nm Width by X ray Diffraction Method

T. Inami, J. Onuki

PROCESSING MATERIALS OF 3D INTERCONNECTS, DAMASCENE AND ELECTRONICS PACKAGING 41(43) 11-14 2012年
Dynamic TEM observation of Fe production from FeO which includes Si at the high temperature

N. Ishikawa, M. Takeguchi, Shuuto Watanabe, Takashi Inami

Proceedings of ICSTI-2012 1306-1309 2012年
Evaluation of Grain Size Distributions of Cu Interconnects with less than 100nm Width by X ray Diffraction Method

T. Inami, J. Onuki

PROCESSING MATERIALS OF 3D INTERCONNECTS, DAMASCENE AND ELECTRONICS PACKAGING 41(43) 11-14 2012年
Dynamic TEM observation of Fe production from FeO which includes Si at the high temperature

N. Ishikawa, M. Takeguchi, Shuuto Watanabe, Takashi Inami

Proceedings of ICSTI-2012 1306-1309 2012年
Development of a nondestructive method utilizing X-ray diffraction for the evaluation of grain size distributions of Cu interconnects

Takashi Inami, Jin Onuki, Minoru Isshiki

Electrochemical and Solid-State Letters 14(5) H208-H211 2011年
Development of a Nondestructive Method Utilizing X-ray Diffraction for the Evaluation of Grain Size Distributions of Cu Interconnects

Takashi Inami, Jin Onuki, Minoru Isshiki

ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS 14(5) H208-H211 2011年
THERMAL STABILITY OF HELIUM BUBBLES IN NANOCRYATALLINE GOLD PREPARED BY GAS DEPOSITION METHOD

Takashi Inanmi, Mamoru Kobiyama, Hiroshi Maeta, Masato Sasase, Norito Ishikawa, Hiroyuki Sugai, Teruo Kato

INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B 24(1-2) 51-56 2010年1月
The Effect of Ca on the Reduction of CaO Doped FeO by Carbon

N. Ishikawa, T. Ogiwara, M. Takeguchi, Y. Oba, T. Inami

Microscopy and Microanalysis 16 352-353 2010年
THERMAL STABILITY OF HELIUM BUBBLES IN NANOCRYATALLINE GOLD PREPARED BY GAS DEPOSITION METHOD

Takashi Inanmi, Mamoru Kobiyama, Hiroshi Maeta, Masato Sasase, Norito Ishikawa, Hiroyuki Sugai, Teruo Kato

INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B 24(1-2) 51-56 2010年1月
The Effect of Ca on the Reduction of CaO Doped FeO by Carbon

N. Ishikawa, T. Ogiwara, M. Takeguchi, Y. Oba, T. Inami

Microscopy and Microanalysis 16 352-353 2010年
In-situ observation of the reaction between iron and arbon in TEM

N.Ishikawa, T.Aoyagi, T. Kimura, K.Furuya, H.Harada, T.Inami

J. Surface of Analysis 15 333-336 2009年

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講演・口頭発表等

電子線照射下でのシリカとの接触部におけるヘマタイト還元

日本鉄鋼協会春季講演大会 2014年
鉄−シリコン複合酸化物からの鉄析出TEM観察

日本顕微鏡学会第69回学術講演会 2013年
ガスデポジション法で作製した金ナノ結晶におけるHeバブルの生成と熱的安定性

日本金属学会秋期講演大会 2013年
鉄－シリコン複合酸化物からの電子線照射による鉄析出

日本鉄鋼協会秋季講演大会 2013年
Precipitation of Fe from Si doped Fe Oxides by Electron Irradiation

ACSIN-12 & ICSPM21 2013年
Decomposition of Silicon doped Iron Oxides by Electron Irradiation

6th International Symposium on Practical Surface Analysis 2013年
Precipitation of Fe from Si doped Fe Oxides by Electron Irradiation

ACSIN-12 & ICSPM21 2013年
Decomposition of Silicon doped Iron Oxides by Electron Irradiation

6th International Symposium on Practical Surface Analysis 2013年
シリカ含有ウスタイトにおける析出現象のその場解析

日本鉄鋼協会春季講演大会，横浜 2012年
ガスデポジション法で作製した金ナノ結晶の熱的安定性とHeバブルの関係

日本金属学会春期大会，横浜 2012年
ウスタイト還元に対するシリカ添加効果の動的観察

日本顕微鏡学会第68回学術講演会 2012年
磁気記録媒体の粒径分布と磁気クラスター

日本金属学会秋期大会，松山 2012年
X線回折法による幅50nm銅微細配線の結晶粒径評価

日本金属学会秋期大会，松山 2012年
ガスデポジション法により作製した金ナノ結晶の熱的安定性と微小硬さ

日本金属学会秋期大会，松山 2012年
高温焼鈍した金ナノ結晶におけるHeバブルの存在状況

日本金属学会秋期大会，松山 2012年
シリカ添加ウスタイトにおける高温下での析出現象

日本鉄鋼協会秋季大会，松山 2012年
Evaluation of Grain Size Distributions of 50nm Wide Cu Interconnects by X-ray Diffraction Method

222nd ECS Meeting, Honolulu 2012年
Evaluation of Grain Size Distributions of 50nm Wide Cu Interconnects by X-ray Diffraction Method

222nd ECS Meeting, Honolulu 2012年
シリカ含有ウスタイトの溶融温度域での炭素との反応TEM内解析

日本鉄鋼協会秋季講演大会 2011年
Evaluation of Grain Size Distributions of Cu Interconnects with less than 100nm Width by X ray Diffraction Method

220th ECS Meeting, Boston 2011年

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所属学協会

Works(作品等)

ロードセル方式によるウラン抽出量測定理論の研究

2007年9月 - 2008年2月