2021年9月11日 CF4ガスによるMg2Si基板の反応性イオンエッチング特性 第82回応用物理学会秋季学術講演会 中村陸斗、吉田美沙、津谷大樹、鵜殿治彦 開催年月日 2021年9月10日 - 2021年9月13日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表（一般） 主催者 応用物理学会
