特許権 銅の成膜装置、銅の成膜方法、銅配線形成方法、銅配線 山内 智 出願番号 特願2016-35760 出願日 2016年2月26日 公開番号 公開日 2017年8月31日 特許番号/登録番号 6711645 登録日 2020年6月1日 発行日 2020年6月1日 権利者 茨城大学 出願国 国内 取得国 国内
