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檜和田 徹

ヒワダ トオル  (Tohru Hiwada)
更新日: 2009/03/25
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  • 共同研究・競争的資金等の研究課題

基本情報

所属
ファジィシステム研究所 研究部 研究員
学位
修士（理学）(山形大学)
J-GLOBAL ID
200901032941634343
researchmap会員ID
5000082841
外部リンク
http://www.ksrp.or.jp/shisetsu/semicon1.html

研究キーワード

  5
  • MEMS 
  • 集積化 
  • マイクロマシン 
  • Integration 
  • MEMS 

研究分野

  3
  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器 /  
  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /  
  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学 /  

学歴

  4
  • - 1999年
    山形大学, 理学研究科, 物理学 
  • - 1999年
    山形大学 
  • - 1997年
    山形大学, 理学部, 物理学科 
  • - 1997年
    山形大学 

共同研究・競争的資金等の研究課題

  2
  • MEMSに必要とされる要素技術の確立． 
  • Establishment of element technology used for MEMS 

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