研究成果は機械工学および電子工学分野に分けられる。機械工学分野では、従来シリコンウェハの微細加工は主に平面構造のデバイスの作製にもちいられていた。本研究では微細加工技術をもちいて部品を作製し組み立てることにより、立体構造のロボットを作製した。その結果、６足のマイクロロボットでは世界最小の5mmを切るサイズでの歩行に成功した。,電子工学分野では、マイクロロボットの動作制御には主にプログラミング制御がもちいられていた。本研究では生物の脳を模倣したアナログ高集積化回路による人工知能回路を作製した結果、プログラミング無しでの動作制御に成功した。