産業財産権

特許権

Method and apparatus for probe contacting

Hitachi High-Technologies Co, Ltd.

Kazuhiro Morita, Karou Umehara

出願番号: 特願US20110133765
出願日: 2011年6月9日
特許番号/登録番号: 特許US8525537
登録日: 2013年9月3日
発行日

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