特許権 マイクロマニピュレータ 株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ, 産業技術総合研究所 浮穴基英,森田一弘,藤井和博,谷口佳史,小谷内範穂,谷川民生 出願番号 特願2007-220067 出願日 2007年8月27日 特許番号/登録番号 特許4607927 登録日 2010年10月15日 発行日 特許第3748395号