2019年10月
A Design Method of Precise Positioning Stage in Vacuum Environment by Disturbance Observer with Position Dependent Parameter
Journal of the Institute of Industrial Applications Engineers
- 巻
- 7
- 号
- 4
- 開始ページ
- 132
- 終了ページ
- 140
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）