論文

査読有り
2009年

Dielectric Properties of PZT Films Deposited by Inductively Coupled Plasma Assisted Aerosol Deposition Method

4th IMAPS/ACerS International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies 2008, CICMT 2008
  • M. Mori
    • ,
  • N. Akita
    • ,
  • S. Baba
    • ,
  • J. Akedo
開始ページ
526
終了ページ
531
記述言語
英語
掲載種別
エクスポート
BibTeX RIS
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