後藤博史 (Hiroshi Goto) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門ネットワークMEMS研究グループ

学位: 博士（工学）

J-GLOBAL ID: 200901095200168665
researchmap会員ID: 5000086414

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H49256000

研究キーワード

1

マイクロマシンナノ加工精密計測

経歴

5

MISC

2

The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns

S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 16(7) 1277-1284 2006年7月
Ultrasonic micromixer for microfluidic systems

Z Yang, S Matsumoto, H Goto, M Matsumoto, R Maeda

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 93(3) 266-272 2001年10月

所属学協会

3

共同研究・競争的資金等の研究課題

1

ナノインプリントの研究