東 康史
アズマ ヤスシ (Yasushi Azuma)
更新日: 2022/07/06
基本情報
- 所属
- 独立行政法人産業技術総合研究所 計測標準研究部門 先端材料科 材料評価研究室
- J-GLOBAL ID
- 200901095000427917
- researchmap会員ID
- 5000086449
- 外部リンク
論文
29-
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IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT 66(6) 1283-1288 2017年6月 査読有り
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IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT 66(6) 1297-1303 2017年6月 査読有り
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METROLOGIA 54(2) 193-203 2017年4月 査読有り
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2016 CONFERENCE ON PRECISION ELECTROMAGNETIC MEASUREMENTS (CPEM 2016) 2016年 査読有り
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2016 CONFERENCE ON PRECISION ELECTROMAGNETIC MEASUREMENTS (CPEM 2016) 2016年 査読有り
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IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT 56(2) 476-480 2007年4月 査読有り
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PARTICLE & PARTICLE SYSTEMS CHARACTERIZATION 23(2) 188-192 2006年8月 査読有り
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SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 38(4) 784-788 2006年4月
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PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY 30(1) 13-22 2006年1月
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Cleaning method for thickness metrology of SiO2 thin films on Si substrates by heating in atmosphereJAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 44(11) 8256-8258 2005年11月
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JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 97(12) 123522-23526 2005年6月
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Influence of thickness of Hf buffer layer on the interfacial structures of sputtered HfO2 on SiO2/SiAPPLIED SURFACE SCIENCE 244(1-4) 21-25 2005年5月
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APPLIED SURFACE SCIENCE 241(1-2) 135-140 2005年2月
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SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 36(9) 1269-1303 2004年9月
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SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 36(8) 1007-1010 2004年8月
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SMAM-1 proceeding 165-168 2004年
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