論文

査読有り
2021年

Extension of Fracture Lifetime Of Silicon Scanning Micromirror by Coating with Atomic Layer Deposited Alumina Thin Film

Proceedings of the 21st International Conference on Solid-state Sensors, Actuators and Microsystems
  • Yuuki Fujita
    • ,
  • Takashi Sasaki
    • ,
  • Koichi Fukuda
    • ,
  • Nguyen Thanh Tung
    • ,
  • Fumio Ogawa
    • ,
  • Toshiyuki Hashida
    • ,
  • Kazuhiro Hane
記述言語
掲載種別
研究論文（国際会議プロシーディングス）
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