特許権 荷電粒子ビーム偏向・収束方法および荷電粒子ビームの偏向・収束器具 独立行政法人 理化学研究所/学校法人高知工科大学 出願番号 特願2005-185522 出願日 公開番号 特開2007-003418 公開日 特許番号/登録番号 特許4713242 登録日 発行日