特許権 荷電粒子によるエネルギー付与用ノズルの製造方法、エネルギー付与用ノズル、エネルギー付与装置、および荷電粒子照射強度計測システム 独立行政法人 理化学研究所 出願番号 特願2011-161568 出願日 公開番号 特開2013-022336 公開日 特許番号/登録番号 特許5794501 登録日 発行日