柳谷隆彦 (yanagitani takahiko) - マイポータル

基本情報

所属: 早稲田大学理工学術院教授

学位: 博士（工学）(同志社大学)

J-GLOBAL ID: 200901003392519197
researchmap会員ID: 5000102160

外部リンク: https://yanagitani.w.waseda.jp/

研究キーワード

研究分野

経歴

2022年4月 - 現在

早稲田大学, 理工学術院先進理工学部電気・情報生命工学科, 教授
2015年4月 - 2022年3月

早稲田大学理工学術院, 先進理工学部電気・情報生命工学科, 准教授
2016年10月 - 2020年3月

JSTさきがけ研究員（兼任）
2012年4月 - 2014年3月

名古屋工業大学, 機械工学科, 助教（任期なし）
2008年5月 - 2012年3月

名古屋工業大学, 機械工学科, 助教（任期あり）
2008年4月 - 2008年5月

産業技術総合研究所, ナノテクノロジー部門, 日本学術振興会PD
2007年4月 - 2008年4月

東北大学, 日本学術振興会ＰＤ
2006年4月 - 2007年3月

産業技術総合研究所, 関西産学官連携センター, 特別研究員

学歴

2003年4月 - 2006年3月

同志社大学, 工学研究科, 電気工学専攻博士後期課程
2001年4月 - 2003年3月

同志社大学, 工学研究科, 電気工学専攻博士前期課程
1997年4月 - 2001年3月

同志社大学, 工学部, 電子工学科

委員歴

受賞

2025年9月

エレクトロニクスレター論文賞, エピタキシャルZnO薄膜を用いたBAW型圧電薄膜昇圧素子, 電子情報通信学会
2018年

文部科学大臣表彰
2016年

早稲田大学リサーチアワード（国際研究発信力）
2013年11月

名古屋工業大学優秀賞（教員評価）
2013年11月

名古屋工業大学褒賞
2013年1月

名古屋工業大学特別優秀賞（教員評価）
2010年9月

粟屋潔学術奨励賞
2007年11月

超音波シンポジウム奨励賞(Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award)
2007年11月

Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award

主要な論文

176

A perspective and review of polarization inverted multilayer BAW resonators based on ScAlN piezoelectric films

T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett. in press 2026年1月査読有り招待有り筆頭著者最終著者責任著者
Damage-free vertical microfabrication of -quartz via HF gas-phase catalyst etching

K-h. Sano, Y. Ono, K. Tsukiyama, S. Nagai, A. Saito, Y. Hayashi, T. Yanagitani

ACS Appl. Mater. Interfaces in press 2025年9月査読有り最終著者責任著者
Determination of longitudinal wave and shear wave acoustic reflectivity of Bragg reflector in the GHz range

Motoshi Suzuki, Y. Shimano, T. Yanagitani

J. Acoust. Soc. Am. 158, 985-995 2025年8月査読有り最終著者責任著者
A method for evaluating intrinsic mechanical quality factor Qm of thin solid films such as ScAlN, GaN, metal materials using GHz pulse-echo technique

Y. Shimano, C. Mita, T. Yanagitani

J. Appl. Phys. 137 214103 2025年6月査読有り最終著者責任著者
High overtone mode bulk acoustic wave resonators with polarization inverted ScAlN or SiAlN/AlN films for next-generation high frequency communication systems

M. Suzuki, J. Sekimoto, K. Fukunaga, S. Kakio, T. Yanagitani

Jpn. J. Appl. Phys. 64(4) 040803 2025年4月査読有り招待有り最終著者
High-overtone mode piezoelectric transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for wake-up receiver applications

S. Kinoshita, R. Karasawa, T. Yanagitani

AIP Adv. 15(045010) 2025年4月査読有り最終著者責任著者
Zig-zag ScAlN 12-layer for shear mode BAW transformer application in rectenna

S. Kinoshita, R. Karasawa, Y. Shimano, M. Matsumura, T. Yanagitani

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 72(4) 547-554 2025年4月査読有り最終著者責任著者
k332 Estimation of thin films via piezoelectric stiffening using ultrasonic reflectometry,

Y. Shimano, Motoshi Suzuki, T. Yanagitani

IEEE Open J.Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 5 6-10 2025年2月査読有り最終著者責任著者
GHz voltage amplification in stack of piezoelectric ScAlN and non-piezoelectric SiO₂ layers

S. Kinoshita, H. Kishi, K. Izumi, T. Yanagitani

Appl. Phys. Express 17 116501 2024年10月31日査読有り最終著者責任著者
Atmospheric gas-phase catalyst etching of SiO2 for deep microfabrication using HF gas and patterned photoresist,

K-H Sano, Y. Ono, R. Tobinaga, Y. Imamura, Y. Hayashi, T. Yanagitani

ACS Appl. Mater. Interfaces 16(17) 22657-22664 2024年4月23日査読有り最終著者責任著者
Enhanced electromechanical coupling from cation local structures in (Mg,Zn)O

J. Jia, D. Kishi, N. Bai, T. Okajima, F. Lesari, T. Yanagitani

Phys. Rev. B 134101 2024年3月査読有り最終著者責任著者
Full-epitaxial ScAlN and MgZnO solidly mounted resonators based on epitaxial acoustic Bragg reflector

S. Tokai, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett. 124, 082901 2024年2月査読有り最終著者責任著者
Epitaxial ZnO piezoelectric layer on SiO2/Mo solidly mounted resonator fabricated using epitaxial Au sacrificial layer

S. Tokai, T. Yanagitani

Appl. Phys. Express 17 025501 2024年2月査読有り最終著者責任著者
Bragg reflector type shear mode BAW transformer based on c-axis zig-zag ScAlN multilayer for rectifying antenna

K. Shiraiwa, T. Yanagitani

IEEE Sens. Lett. 7(11) 2504404 2023年11月査読有り最終著者責任著者
GHz fingerprint acoustic imaging by mechanically scanning a soft conductive probe on epitaxial PbTiO3 films

Y. Koike, Y. Sato, T. Yanagitani

IEEE Sens. Lett 7(10) 2504004 2023年10月査読有り最終著者責任著者
Theoretical investigation of Rayleigh surface acoustic wave propagation characteristics in c-axis-zigzag ScAlN film/silicon substrate structure

Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

J. Appl. Phys. 133 204502-1-204502-10 2023年5月23日査読有り最終著者
A method for extracting sole mechanical properties of Bragg reflector by GHz ultrasonic pulse-echo technique,

T. Yanagitani, N. Ishii, K. Kondo, M. Suzuki

Appl. Phys. Lett., 121(18) 182901 2022年10月31日査読有り筆頭著者責任著者
Giga-hertz ultrasonic reflectometry for fingerprint imaging using epitaxial PbTiO3 transducers,

K. Nakamura, Y. Koike, Y. Sato, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 121(17) 172903 2022年10月26日査読有り最終著者責任著者
Oblique incidence ultrasonic reflectometry device based on c-axis tilted ScAlN films for evaluating viscoelastic properties of liquids above 100 MHz

S. Kinoshita, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 121(15) 152901 2022年9月22日査読有り最終著者責任著者
Enhanced electromechanical coupling in Yb-Substituted III−V nitride alloys,

J. Jia, N. Iwata, M. Suzuki, T. Yanagitani

ACS Appl. Electron. Mater. 4(7) 3448-3456 2022年6月22日査読有り最終著者責任著者
Negative-ion bombardment increases during low-pressure sputtering deposition and their effects on the crystallinities and piezoelectric properties of scandium aluminum nitride films

T. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani

J. Phys. D: Appl. Phys., 55 105306 2021年12月21日最終著者
Ion-beam-induced in-plane a-axis oriented (0001) AlN and ScAlN thin film BAW resonators

【Editor's Pick】C. Masamune, T. Yanagitani

AIP Advances 11(12) 125215 2021年12月21日査読有り最終著者責任著者
Origin of Enhanced Electromechanical Coupling in (Yb,Al)N Nitride Alloys,

J. Jia, T. Yanagitani

Phys. Rev. Appl., 16(4) 44009 2021年10月21日査読有り最終著者責任著者
Polarization control of ScAlN, ZnO, and PbTiO3 piezoelectric films: Application to polarization inverted multilayer BAW and SAW devices

解説記事, T. Yanagitani, S. Takayanagi

Jpn. J. Appl. Phys 60 SD0803-1-SD0803-10 2021年7月21日査読有り招待有り筆頭著者最終著者責任著者
Bulk acoustic wave transformer based on the combination of the high-ε epitaxial PbTiO3 and low-ε ScAlN thin films

S. Kinoshita, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 118 212901 2021年5月21日査読有り最終著者責任著者
Theoretical and experimental study of shear mode bulk acoustic wave transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for rectenna application

S. Kinoshita, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 118 142903 2021年4月21日査読有り最終著者責任著者
Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks

T. Shimidzu, T. Yanagitani

J. Appl. Phys. 126(11) 114104-114104 2019年9月21日査読有り最終著者責任著者
ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制～電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較～

柳谷隆彦

真空ジャーナル 11-15 2019年9月19日筆頭著者最終著者責任著者
Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field

T. Shimidzu, T. Mori, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 114(21) 212902-212902 2019年5月27日査読有り最終著者責任著者
Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”

M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani, M. Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 2018年10月25日査読有り責任著者
ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz -80 MHz,”

K-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 65(11) 2097-2102 2018年10月25日査読有り最終著者責任著者
Ultrasonically induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone,”

S. Mori, T. Makino, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

AIP Advances 8(4) 45007 2018年4月1日査読有り
Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy,”

H. Odagawa, K. Terada, Y. Tanaka, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho

Jpn. J. Appl. Phys. 56(10) 10PF18 2017年10月17日査読有り
Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering

S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, M. Matsukawa

J. Appl. Phys. 121 235102 2017年7月9日査読有り責任著者
Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy ”

H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho

Ferroelectrics 498(1) 47-51 2016年7月8日査読有り
Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering tecniques,”

H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. kawabe, S. Tomita, M. Matsukawa?

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 63(5) 717-725 2016年5月16日査読有り招待有り責任著者
Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation,”

S. Matsukawa, T. Makino, S. Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett. 110(14) 143701 2016年4月17日査読有り
Gigahertz acoustic wave velocities measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect,”

H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Kawabe, M. Matsukawa?

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 61(8) 1307-1313 2015年8月14日査読有り招待有り
High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films,”

K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto

J. Appl. Phys. 117(12) 124106 2015年3月15日査読有り
Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation,”

H. Tsuneda, S. Matsukawa, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett. 106(7) 73704 2015年2月15日査読有り
Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary,

T. Yanagitani, M. Suzuki

Appl. Phys. Lett. 105(12) 122907 2014年9月26日査読有り筆頭著者責任著者
Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators”

M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa

Appl. Phys. Lett. 104(17) 172905-1-172905-4 2014年4月14日査読有り責任著者
Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary,”

T. Yanagitani, M. Suzuki

Appl. Phys. Lett. 104(8) 082911-1-082911-4 2014年2月14日査読有り筆頭著者責任著者
Significant shear mode softening in c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by self-shadowing effect,”

T. Yanagitani, M. Suzuki

Scripta mater. 69(10) 724-727 2013年11月13日査読有り筆頭著者責任著者
Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the Megahertz range,”

M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett. 103(10) 103701-1-103701-4 2013年9月13日査読有り
A method for predicting thickness of unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction,”

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

J. Phys. D: Appl. Phys. 46(31) 315305-1-315305-5 2013年8月13日査読有り
Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target,”

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

J. Cryst. Growth 363 22-24 2013年7月5日査読有り責任著者
High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator,”

H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, T. Sugimoto, M. Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 60(5) 873-876 2013年7月5日査読有り責任著者
Wideband multimode transducer consisting of c-axis tilted ZnO / caxis normal ZnO multilayer,

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Jpn. J. Appl. Phys. 51(7) 07GC08 2012年7月12日査読有り
Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation,

T. Yanagitani, M. Kiuchi

Surf. Coat. Technol 206(5) 816-819 2011年11月11日査読有り筆頭著者責任著者

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MISC

Enhanced Electromechanical Coupling Near the Phase Boundary in Wurtzite (Mg,Zn)O and (Sc,Al)N

Junjun Jia, Takahiko Yanagitani

2024 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics &amp; Mechanics (IC-MAM) 2024年5月13日査読有り
数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出

茂木彩音, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 41-46 2023年12月22日
エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子

小林栞, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 18-23 2023年12月22日
c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング

石井直輝, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 53-58 2023年12月22日
厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス

白岩和剛, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 47-52 2023年12月22日
PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ

國信聡太, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 35-40 2023年12月22日
積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モードBAWフィルタ(DMB)

柴田真之, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 1-6 2023年12月22日
エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製

渡海智, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 24-29 2023年12月22日
c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数

國信聡太, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 17-22 2023年11月27日
高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR

柴田真之, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 11-16 2023年11月27日
圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR

白岩和剛, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 61-66 2023年11月27日
エピ圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR

渡海智, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (123) 67-72 2023年11月27日
YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性

李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 74-79 2022年12月22日
SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定

近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 80-85 2022年12月22日
LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性

工藤慎也, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 86-91 2022年12月22日
c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性

岸大貴, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 62-67 2022年12月22日
基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響

関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 68-73 2022年12月22日
基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出

清水祐樹, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 56-61 2022年12月22日
c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ

泉航太、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (121) 5-10 2022年
Experimental and theoretical investigation of k_t ² and velocity in YbGaN films by DFT

Yuna Koike, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 2021年9月11日

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書籍等出版物

次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

技術情報協会 2014年5月
次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

技術情報協会 2014年5月
Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520

Intech 2011年10月 (ISBN: 9789533075723)

講演・口頭発表等

620

エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の誘起圧電性

勝又彩馨, 島野耀康, 柳谷隆彦

応用物理学会 2024年3月25日
純 AlN 薄膜 SMR の kt2ヒステリシス特性

花井彩香, 柳谷隆彦

応用物理学会 2024年3月24日
周期的傾斜分極反転構造とベタ電極からなるSAWデバイス

松村理司, 島野耀康, 大野直輝, 柳谷隆彦,長康雄

応用物理学会 2024年3月24日
c 軸傾斜 ScAlN 薄膜を用いた送受波型ジャイロセンサの作製

小池由奈, 柳谷隆彦

応用物理学会 2024年3月23日
エピタキシャル PbTiO3薄膜を用いたブラッグ反射器型共振子の分極反転特性

下山航, 島野耀康, 國信聡太, 柳谷隆彦

応用物理学会 2024年3月23日
分極反転もしくは中間電極を用いたScAlN多層薄膜SMRによる二重モード型BAWフィルタ(DMB)

松村桃佳, 柴田真之, 柳谷隆彦

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月30日
AOGsレスSc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソード平行平板スパッタリング

浴田航平, 石井直輝, 島野耀康, 柳谷隆彦

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月30日
純AlN薄膜共振子の強誘電性とヒステリシス特性

花井彩香, 柳谷隆彦

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月30日
周期的傾斜分極反転構造を用いたベタ電極によるSAWの励振

松村理司, 島野耀康, 大野直輝, 柳谷隆彦, 長康雄

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月29日
エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の電界誘起圧電性

勝又彩馨, 島野耀康, 柳谷隆彦

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月29日
パルスエコー法による減衰定数測定を用いたScAlN薄膜のQ値評価

島野耀康, 柳谷隆彦

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月29日
電極抵抗低減に向けて上下電極に金属音響ブラッグ反射器を採用したSMR

富岡美咲, 渡海智, 柳谷隆彦

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月29日
エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたブラッグ反射器型共振子

下山航, 島野耀康, 國信聡太, 柳谷隆彦

圧電・材料デバイスシンポジウム2024 2024年1月29日
数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出

茂木彩音, 柳谷隆彦

電子情報通信学会応用音響研究会 2023年12月22日
エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子

小林栞, 柳谷隆彦

電子情報通信学会応用音響研究会 2023年12月22日
c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング

石井直輝, 柳谷隆彦

電子情報通信学会応用音響研究会 2023年12月22日
厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス

白岩和剛, 柳谷隆彦

電子情報通信学会応用音響研究会 2023年12月22日
PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ

國信聡太, 柳谷隆彦

電子情報通信学会応用音響研究会 2023年12月22日
積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モードBAWフィルタ(DMB)

柴田真之, 柳谷隆彦

電子情報通信学会応用音響研究会 2023年12月22日
エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製

渡海智, 柳谷隆彦

電子情報通信学会応用音響研究会 2023年12月22日

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担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

高次モードScAlNエピブラッグ反射器を用いたマイクロセンサ

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2025年4月 - 2030年3月

柳谷隆彦, 賈軍軍
分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2021年7月 - 2024年3月

柳谷隆彦
GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2019年4月 - 2022年3月

柳谷隆彦, 高柳真司, 吉田憲司, 鈴木雅視
高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2018年6月 - 2021年3月

柳谷隆彦
横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2016年4月 - 2019年3月

柳谷隆彦, 高柳真司, 吉田憲司
走査型非線形誘電率顕微法による極性反転圧電薄膜の層状構造測定法の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2015年4月 - 2018年3月

小田川裕之, 柳谷隆彦, 長康夫
極性反転多層構造の巨大圧電性薄膜を用いたGHz帯高分解能超音波プローブの実現

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2017年3月

柳谷隆彦
超音波照射により生じる骨中の圧電現象の計測と評価

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2012年4月 - 2015年3月

松川真美, 細川篤, 長谷芳樹, 柳谷隆彦, 星野裕信, 長谷芳樹
高感度センサＭＥＭＳを目指した巨大横波圧電薄膜の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2012年4月 - 2015年3月

柳谷隆彦
光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2012年 - 2013年

松川真美, 柳谷隆彦
圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2009年 - 2010年

柳谷隆彦
面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振子型分子間相互作用センサへの応用

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費特別研究員奨励費 2007年 - 2008年

柳谷隆彦

産業財産権

特開2017-224969 圧電素子及び圧電変換装置

柳谷隆彦
United States Patent Application Pubrication, US-A1-180188214 Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus

S. Oono, K. Sumikawa, T. Takahash, T. Yanagitani
特開2017-17458 超音波探触子および超音波検査装置

大野茂, 住川健太, 高橋卓也, 柳谷隆彦
特開2016-145732 超音波探触子及び超音波探傷システム

高羅友輔, 柳谷隆彦
特開2016-036071 超音波探触子及び超音波探傷システム

高羅友輔, 柳谷隆彦
United States Patent Application Pubrication, No. US20100133091A Thin film producing method and hexagonal piezoelectric thin film produced thereby

H. Nishio, Y. Mori, Y. Tsurukame, T. Kawamoto, Y. Watanabe, T. Yanagitani
United States Patent, No. US 7951272 B2 Thin film producing method

Y. Watanabe, T. Yanagitani
特許第5747318号薄膜共振子

柳谷隆彦, 鈴木雅視, 渡辺好章
特許第5217051号薄膜製造方法及び前記薄膜製造方法により製造された六方晶系圧電薄膜

西尾英俊, 森嘉一, 鶴亀宜崇, 渡辺好章, 柳谷隆彦, 川本貴之
特許第4784815号高次モード薄膜共振器

渡辺好章, 柳谷隆彦

柳谷隆彦

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

主要な論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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