柳谷隆彦 (yanagitani takahiko) - マイポータル

基本情報

所属: 早稲田大学理工学術院教授

学位: 博士（工学）(同志社大学)

J-GLOBAL ID: 200901003392519197
researchmap会員ID: 5000102160

外部リンク: https://yanagitani.w.waseda.jp/

研究キーワード

研究分野

経歴

2022年4月 - 現在

早稲田大学, 理工学術院先進理工学部電気・情報生命工学科, 教授
2015年4月 - 2022年3月

早稲田大学理工学術院, 先進理工学部電気・情報生命工学科, 准教授
2016年10月 - 2020年3月

JSTさきがけ研究員（兼任）
2012年4月 - 2014年3月

名古屋工業大学, 機械工学科, 助教（任期なし）
2008年5月 - 2012年3月

名古屋工業大学, 機械工学科, 助教（任期あり）
2008年4月 - 2008年5月

産業技術総合研究所, ナノテクノロジー部門, 日本学術振興会PD
2007年4月 - 2008年4月

東北大学, 日本学術振興会ＰＤ
2006年4月 - 2007年3月

産業技術総合研究所, 関西産学官連携センター, 特別研究員

学歴

2003年4月 - 2006年3月

同志社大学, 工学研究科, 電気工学専攻博士後期課程
2001年4月 - 2003年3月

同志社大学, 工学研究科, 電気工学専攻博士前期課程
1997年4月 - 2001年3月

同志社大学, 工学部, 電子工学科

委員歴

受賞

2018年

文部科学大臣表彰
2016年

早稲田大学リサーチアワード（国際研究発信力）
2013年11月

名古屋工業大学優秀賞（教員評価）
2013年11月

名古屋工業大学褒賞
2013年1月

名古屋工業大学特別優秀賞（教員評価）
2010年9月

粟屋潔学術奨励賞
2007年11月

超音波シンポジウム奨励賞(Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award)
2007年11月

Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award

主要な論文

164

Enhanced electromechanical coupling from cation local structures in (Mg,Zn)O

J. Jia, D. Kishi, N. Bai, T. Okajima, F. Lesari, T. Yanagitani

Phys. Rev. B accepted 2024年3月査読有り最終著者
Full-epitaxial ScAlN and MgZnO solidly mounted resonators based on epitaxial acoustic Bragg reflector

S. Tokai, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett. 124, 082901 2024年2月査読有り最終著者責任著者
Epitaxial ZnO piezoelectric layer on SiO2/Mo solidly mounted resonator fabricated using epitaxial Au sacrificial layer

S. Tokai, T. Yanagitani

Appl. Phys. Express 17 025501 2024年2月査読有り最終著者責任著者
Bragg reflector type shear mode BAW transformer based on c-axis zig-zag ScAlN multilayer for rectifying antenna

K. Shiraiwa, T. Yanagitani

IEEE Sens. Lett. 7(11) 2504404 2023年11月査読有り最終著者責任著者
GHz fingerprint acoustic imaging by mechanically scanning a soft conductive probe on epitaxial PbTiO3 films

Y. Koike, Y. Sato, T. Yanagitani

IEEE Sens. Lett 7(10) 2504004 2023年10月査読有り最終著者責任著者
Theoretical investigation of Rayleigh surface acoustic wave propagation characteristics in c-axis-zigzag ScAlN film/silicon substrate structure

Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

J. Appl. Phys. 133 204502-1-204502-10 2023年5月23日査読有り最終著者
A method for extracting sole mechanical properties of Bragg reflector by GHz ultrasonic pulse-echo technique,

T. Yanagitani, N. Ishii, K. Kondo, M. Suzuki

Appl. Phys. Lett., 121(18) 182901 2022年10月31日査読有り筆頭著者責任著者
Giga-hertz ultrasonic reflectometry for fingerprint imaging using epitaxial PbTiO3 transducers,

K. Nakamura, Y. Koike, Y. Sato, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 121(17) 172903 2022年10月26日査読有り最終著者責任著者
Oblique incidence ultrasonic reflectometry device based on c-axis tilted ScAlN films for evaluating viscoelastic properties of liquids above 100 MHz

S. Kinoshita, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 121(15) 152901 2022年9月22日査読有り最終著者責任著者
Enhanced electromechanical coupling in Yb-Substituted III−V nitride alloys,

J. Jia, N. Iwata, M. Suzuki, T. Yanagitani

ACS Appl. Electron. Mater. 4(7) 3448-3456 2022年6月22日査読有り最終著者責任著者
Negative-ion bombardment increases during low-pressure sputtering deposition and their effects on the crystallinities and piezoelectric properties of scandium aluminum nitride films

T. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani

J. Phys. D: Appl. Phys., 55 105306 2021年12月21日最終著者
Ion-beam-induced in-plane a-axis oriented (0001) AlN and ScAlN thin film BAW resonators

【Editor's Pick】C. Masamune, T. Yanagitani

AIP Advances 11(12) 125215 2021年12月21日査読有り最終著者責任著者
Origin of Enhanced Electromechanical Coupling in (Yb,Al)N Nitride Alloys,

J. Jia, T. Yanagitani

Phys. Rev. Appl., 16(4) 44009 2021年10月21日査読有り最終著者責任著者
Polarization control of ScAlN, ZnO, and PbTiO3 piezoelectric films: Application to polarization inverted multilayer BAW and SAW devices

解説記事, T. Yanagitani, S. Takayanagi

Jpn. J. Appl. Phys 60 SD0803-1-SD0803-10 2021年7月21日査読有り招待有り筆頭著者最終著者責任著者
Bulk acoustic wave transformer based on the combination of the high-ε epitaxial PbTiO3 and low-ε ScAlN thin films

S. Kinoshita, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 118 212901 2021年5月21日査読有り最終著者責任著者
Theoretical and experimental study of shear mode bulk acoustic wave transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for rectenna application

S. Kinoshita, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 118 142903 2021年4月21日査読有り最終著者責任著者
Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks

T. Shimidzu, T. Yanagitani

J. Appl. Phys. 126(11) 114104-114104 2019年9月21日査読有り最終著者責任著者
ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制～電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較～

柳谷隆彦

真空ジャーナル 11-15 2019年9月19日筆頭著者最終著者責任著者
Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field

T. Shimidzu, T. Mori, T. Yanagitani

Appl. Phys. Lett., 114(21) 212902-212902 2019年5月27日査読有り最終著者責任著者
Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”

M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani, M. Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 2018年10月25日査読有り責任著者
ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz -80 MHz,”

K-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 65(11) 2097-2102 2018年10月25日査読有り最終著者責任著者
Ultrasonically induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone,”

S. Mori, T. Makino, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

AIP Advances 8(4) 45007 2018年4月1日査読有り
Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy,”

H. Odagawa, K. Terada, Y. Tanaka, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho

Jpn. J. Appl. Phys. 56(10) 10PF18 2017年10月17日査読有り
Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering

S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, M. Matsukawa

J. Appl. Phys. 121 235102 2017年7月9日査読有り責任著者
Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy ”

H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho

Ferroelectrics 498(1) 47-51 2016年7月8日査読有り
Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering tecniques,”

H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. kawabe, S. Tomita, M. Matsukawa?

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 63(5) 717-725 2016年5月16日査読有り招待有り責任著者
Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation,”

S. Matsukawa, T. Makino, S. Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett. 110(14) 143701 2016年4月17日査読有り
Gigahertz acoustic wave velocities measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect,”

H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Kawabe, M. Matsukawa?

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 61(8) 1307-1313 2015年8月14日査読有り招待有り
High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films,”

K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto

J. Appl. Phys. 117(12) 124106 2015年3月15日査読有り
Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation,”

H. Tsuneda, S. Matsukawa, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett. 106(7) 73704 2015年2月15日査読有り
Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary,

T. Yanagitani, M. Suzuki

Appl. Phys. Lett. 105(12) 122907 2014年9月26日査読有り筆頭著者責任著者
Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators”

M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa

Appl. Phys. Lett. 104(17) 172905-1-172905-4 2014年4月14日査読有り責任著者
Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary,”

T. Yanagitani, M. Suzuki

Appl. Phys. Lett. 104(8) 082911-1-082911-4 2014年2月14日査読有り筆頭著者責任著者
Significant shear mode softening in c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by self-shadowing effect,”

T. Yanagitani, M. Suzuki

Scripta mater. 69(10) 724-727 2013年11月13日査読有り筆頭著者責任著者
Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the Megahertz range,”

M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett. 103(10) 103701-1-103701-4 2013年9月13日査読有り
A method for predicting thickness of unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction,”

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

J. Phys. D: Appl. Phys. 46(31) 315305-1-315305-5 2013年8月13日査読有り
Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target,”

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

J. Cryst. Growth 363 22-24 2013年7月5日査読有り責任著者
High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator,”

H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, T. Sugimoto, M. Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 60(5) 873-876 2013年7月5日査読有り責任著者
Wideband multimode transducer consisting of c-axis tilted ZnO / caxis normal ZnO multilayer,

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Jpn. J. Appl. Phys. 51(7) 07GC08 2012年7月12日査読有り
Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation,

T. Yanagitani, M. Kiuchi

Surf. Coat. Technol 206(5) 816-819 2011年11月11日査読有り筆頭著者責任著者
Three-Dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone: Effects of hydroxyapatite crystallites orientation and microstructure,”

Nakatsuji, K. Yamamoto, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, Y. Matsuyama

Jpn. J. Appl. Phys. 50(7) 07HF18-1-07HF18-6 2011年7月11日査読有り
Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering,”

T. Yoshida, T. Yanagitani, M. Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 58(6) 1255-1260 2011年6月11日査読有り
c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes,”

T. Yanagitani, N. Morisato, S. Takayanagi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 58(5) 1062-1068 2011年5月11日査読有り
Relationships between the anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatitecrystallite orientation in bovine cortical bone,”

K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yaoi, Yu. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama

Ultrasonics 52(3) 377-386 2011年3月12日査読有り
Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition,”

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett. 101(23) 232902-1-232902-3 2010年12月12日査読有り責任著者
A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method,”

T. Yanagitani, H. Sano, M. Matsukawa

J. Appl. Phys. 108(2) 024910-1-024910-4 2010年7月10日査読有り
Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone,”

Y. Yaoi, K. Yamamoto, T. Nakatsuji, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

Jpn. J. Appl. Phys. 48(7) 07GK06-1-07GK06-4 2009年7月9日査読有り
Propagation characteristics of shear horizontal surface acoustic wave in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures,”

A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 55(12) 2709-2713 2008年12月8日査読有り責任著者
Highly oriented ZnO thin films deposited by grazing ion-beam sputtering: application to acoustic shear wave excitation in the GHz range,”

T. Yanagitani, M. Kiuchi

Jpn. J. Appl. Phys. 46(45-49) L1167-L1169 2007年12月7日査読有り
Characteristics of pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,”

T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 54(8) 1680-1686 2007年8月7日査読有り

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MISC

YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性

李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 74-79 2022年12月22日
SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定

近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 80-85 2022年12月22日
LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性

工藤慎也, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 86-91 2022年12月22日
c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性

岸大貴, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 62-67 2022年12月22日
基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響

関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 68-73 2022年12月22日
基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出

清水祐樹, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (122) 56-61 2022年12月22日
c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ

泉航太、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (121) 5-10 2022年
Experimental and theoretical investigation of k_t ² and velocity in YbGaN films by DFT

Yuna Koike, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani

2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 2021年9月11日
スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ

岩田直也、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (121) 19-24 2021年
PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング

佐藤裕友、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (121) 13-18 2021年
基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較

龍見亮汰、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (120) 57-60 2020年
ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響

木原流唯、髙柳真司、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (120) 51-56 2020年
レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス

木下紗里那、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 (120) 45-50 2020年
AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較

五月女巧, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 120(222) 34-39 2020年
低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響

冨永卓海, 髙柳真司, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 120(222) 1-6 2020年
ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性

宮田昌哉, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 119 33-37 2019年
擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価

天野凌輔, 山川愉生, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告 119 19-23 2019年
「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」

清水貴博, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 29-34 (2018). 118(48) 29-34 2018年
「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」

唐澤嶺, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 23-27 (2018). 118(48) 23-27 2018年
「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」

矢崎花, 五月女巧, 唐澤嶺, 高柳真司, 吉田憲司, 柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 31-35 (2018). 118(229) 31-35 2018年

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書籍等出版物

次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

技術情報協会 2014年5月
次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

技術情報協会 2014年5月
Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520

Intech 2011年10月 (ISBN: 9789533075723)

講演・口頭発表等

564

YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性

李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦

超音波研究会 2023年12月22日
SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定

近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦

超音波研究会 2023年12月22日
LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性

工藤慎也, 柳谷隆彦

超音波研究会 2023年12月22日
c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性

岸大貴, 柳谷隆彦

超音波研究会 2023年12月22日
基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響

関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦

超音波研究会 2023年12月22日
基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出

清水祐樹, 柳谷隆彦

超音波研究会 2023年12月22日
(10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性

内田拓希, 工藤慎也, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
オフ角基板を用いたc軸傾斜エピPbTiO 3 薄膜の擬似横波励振特性

國信聡太, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
Li0.65Nb0.3Ta0.05O3 スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性

中村華英, 工藤慎也, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
オフ角サファイア単結晶基板上 c 軸傾斜MgZnO, ScAlN,エピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性

小林栞, 岸大貴, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
30 層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離

白岩和剛, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性

馮子泰, 李嵩, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
基板付き薄膜共振子における共振反共振法用いた電極を含む電気機械結合係数keff2の直接評価

島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
基板付き圧電薄膜構造の kt2評価における電極面積依存性の実験データとFEM解析データの比較

関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR

渡海智, 柳谷隆彦

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
オフ角 La-SrTiO3 基板を用いた c 軸傾斜エピ PbTiO3 薄膜の高い横波圧電性

國信聡太, 柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
オフ角 Al2O3 基板を用いた LiNbO3 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長

工藤慎也, 柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性

岸大貴, 柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
圧電層と基板の音響分離を目指した 30 層分極反転共振子案

白岩和剛, 柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
エピタキシャル金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器を用いたフルエピタキシャル SMR の作製

渡海智, 柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2021年7月 - 2024年3月

柳谷隆彦
GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2019年4月 - 2022年3月

柳谷隆彦, 高柳真司, 吉田憲司, 鈴木雅視
高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2018年6月 - 2021年3月

柳谷隆彦
横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2016年4月 - 2019年3月

柳谷隆彦, 高柳真司, 吉田憲司
走査型非線形誘電率顕微法による極性反転圧電薄膜の層状構造測定法の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2015年4月 - 2018年3月

小田川裕之, 柳谷隆彦, 長康夫
極性反転多層構造の巨大圧電性薄膜を用いたGHz帯高分解能超音波プローブの実現

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2017年3月

柳谷隆彦
超音波照射により生じる骨中の圧電現象の計測と評価

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2012年4月 - 2015年3月

松川真美, 細川篤, 長谷芳樹, 柳谷隆彦, 星野裕信, 長谷芳樹
高感度センサＭＥＭＳを目指した巨大横波圧電薄膜の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2012年4月 - 2015年3月

柳谷隆彦
光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2012年 - 2013年

松川真美, 柳谷隆彦
圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2009年 - 2010年

柳谷隆彦
面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振子型分子間相互作用センサへの応用

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費特別研究員奨励費 2007年 - 2008年

柳谷隆彦

産業財産権

特開2017-224969 圧電素子及び圧電変換装置

柳谷隆彦
United States Patent Application Pubrication, US-A1-180188214 Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus

S. Oono, K. Sumikawa, T. Takahash, T. Yanagitani
特開2017-17458 超音波探触子および超音波検査装置

大野茂, 住川健太, 高橋卓也, 柳谷隆彦
特開2016-145732 超音波探触子及び超音波探傷システム

高羅友輔, 柳谷隆彦
特開2016-036071 超音波探触子及び超音波探傷システム

高羅友輔, 柳谷隆彦
United States Patent Application Pubrication, No. US20100133091A Thin film producing method and hexagonal piezoelectric thin film produced thereby

H. Nishio, Y. Mori, Y. Tsurukame, T. Kawamoto, Y. Watanabe, T. Yanagitani
United States Patent, No. US 7951272 B2 Thin film producing method

Y. Watanabe, T. Yanagitani
特許第5747318号薄膜共振子

柳谷隆彦, 鈴木雅視, 渡辺好章
特許第5217051号薄膜製造方法及び前記薄膜製造方法により製造された六方晶系圧電薄膜

西尾英俊, 森嘉一, 鶴亀宜崇, 渡辺好章, 柳谷隆彦, 川本貴之
特許第4784815号高次モード薄膜共振器

渡辺好章, 柳谷隆彦

柳谷隆彦

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

主要な論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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