柳谷 隆彦

• YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性 

  李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦

  超音波研究会 2023年12月22日
• SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定 

  近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦

  超音波研究会 2023年12月22日
• LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性 

  工藤慎也, 柳谷隆彦

  超音波研究会 2023年12月22日
• c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性 

  岸大貴, 柳谷隆彦

  超音波研究会 2023年12月22日
• 基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響 

  関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦

  超音波研究会 2023年12月22日
• 基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出 

  清水祐樹, 柳谷隆彦

  超音波研究会 2023年12月22日
• (10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性 

  内田拓希, 工藤慎也, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• オフ角基板を用いたc軸傾斜エピPbTiO 3 薄膜の擬似横波励振特性 

  國信聡太, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• Li0.65Nb0.3Ta0.05O3 スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性 

  中村華英, 工藤慎也, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• オフ角サファイア単結晶基板上 c 軸傾斜MgZnO, ScAlN,エピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性 

  小林栞, 岸大貴, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• 30 層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離 

  白岩和剛, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性 

  馮子泰, 李嵩, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• 基板付き薄膜共振子における共振反共振法用いた電極を含む電気機械結合係数keff2の直接評価 

  島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• 基板付き圧電薄膜構造の kt2評価における電極面積依存性の実験データとFEM解析データの比較 

  関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR 

  渡海智, 柳谷隆彦

  第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月15日
• オフ角 La-SrTiO3 基板を用いた c 軸傾斜エピ PbTiO3 薄膜の高い横波圧電性 

  國信聡太, 柳谷隆彦

  圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
• オフ角 Al2O3 基板を用いた LiNbO3 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長 

  工藤慎也, 柳谷隆彦

  圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
• オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性 

  岸大貴, 柳谷隆彦

  圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
• 圧電層と基板の音響分離を目指した 30 層分極反転共振子案 

  白岩和剛, 柳谷隆彦

  圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日
• エピタキシャル金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器を用いたフルエピタキシャル SMR の作製 

  渡海智, 柳谷隆彦

  圧電材料・デバイスシンポジウム2023 2023年1月26日