2020年9月7日
ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
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- 開催年月日
- 2020年9月7日 - 2020年9月7日
- 主催者
- IEEE