論文

査読有り

2019年10月1日

A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate

Proc. IEEE Ultrason. Symp.

Sarina Kinoshita
Takahiko Yanagitani

開始ページ: 229
終了ページ: 300
記述言語
掲載種別: 研究論文（国際会議プロシーディングス）
DOI: 10.1109/ultsym.2019.8926088

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1109/ultsym.2019.8926088
URL: http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8914674/8925542/08926088.pdf?arnumber=8926088

ID情報

DOI : 10.1109/ultsym.2019.8926088

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