論文

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2019年10月1日

Ion beam induced a-axis in-plane oriented c-axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application

Proc. IEEE Ultrason. Symp.

Chiaki Masamune
Takahiko Yanagitani

開始ページ: 1127
終了ページ: 1128
記述言語
掲載種別: 研究論文（国際会議プロシーディングス）
DOI: 10.1109/ultsym.2019.8926047

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1109/ultsym.2019.8926047
URL: http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8914674/8925542/08926047.pdf?arnumber=8926047

ID情報

DOI : 10.1109/ultsym.2019.8926047

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