尹成圓 (Sung Won Youn) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人産業技術総合研究所ハイブリッド機能集積研究部門主任研究員

J-GLOBAL ID: 200901096368508832
researchmap会員ID: 5000102329

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=S70586771

研究キーワード

リソグラフィマイクロナノインプリント電子線リソグラフィ MEMS実装技術

研究分野

論文

感光性・可溶性ブロック共重合ポリイミドを用いたナノパターニング法の成型評価

鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋, 高木秀樹

精密工学会学術講演会講演論文集 2015 331-332 2015年
UV表面処理と無電界めっきを併用したシロキサン変性ポリイミドへの選択的銅パターニング

尹成圓, 鈴木健太, 朴相天, 高木英樹, 廣島洋, 前田龍太郎

精密工学会学術講演会講演論文集 2015 861-862 2015年
Nano-patterning on soluble block copolymer polyimide by nanoimprint

Suzuki K, Youn S. W, Hiroshima H, Takagi H

Japanese Journal of Applied Physics 54(8) 2015年査読有り
Selective Cu patterning on polyimide using UV surface treatment and electroless plating

Youn S.-W, Suzuki K, Park S.-C, Takagi H, Hiroshima H, Maeda R

Journal of Photopolymer Science and Technology 28(2) 157-161 2015年査読有り
A study on surface modification of soluble block copolymer polyimide by UV irradiation and its application to electroless plating

Park S.-C, Youn S.-W, Takagi H, Hiroshima H, Maeda R, Kato T

Journal of Photopolymer Science and Technology 26(3) 297-302 2013年査読有り
Simplified Cu/Polyimide Damascene Approach Based on Imprint Process of Soluble Block Copolymer Polyimide

Park S. C, Youn S. W, Hiroshima H, Takagi H, Maeda R, Kato T

Japanese Journal of Applied Physics 52(10) 2013年査読有り
Surface patterning of glass via electrostatic imprinting using a platinum mold

Youn S.-W, Takagi H, Park S.-C, Takahashi M, Maeda R

Journal of Nanoscience and Nanotechnology 12(4) 3181-3185 2012年査読有り
Formation of Cu electrical circuit by simplified damascene process based on UV-assisted thermal imprinting

Youn S.-W, Ueno A, Takagi H, Takahashi M, Maeda R

Microelectronic Engineering 87(5-8) 1150-1153 2010年査読有り
Size Dependence of Quick Cavity Filling Behavior in Ultraviolet Nanoimprint Lithography Using Pentafluoropropane Gas

Youn S. W, Hiroshima H, Takahashi M, Maeda R

Japanese Journal of Applied Physics 49(6) 2010年査読有り
Study on UV assisted thermal-imprint of su-8 using ni mold-effect of pre-treatment of SU-8 Surface

Sung Won Youn, Masaharu Takahashi

Journal of Japan Institute of Electronics Packaging 12(4) 351-354 2009年7月査読有り
ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(1) : 熱インプリントとダマシン法を併用したパリレン薄膜への銅配線形成(講座「ちょっとMEMS」第14回)

尹成圓, 高橋正春

エレクトロニクス実装学会誌 12(3) 248-251 2009年5月1日
Direct imprint of Al foil for metallization of high-aspect ratio Al lines in nano/micro patterned SiO<inf>2</inf>/Si

Youn S.-W, Ueno A, Okuyama C, Takagi H, Takahashi M, Maeda R

Microelectronic Engineering 86(4-6) 600-603 2009年査読有り
Micro structuring of glassy carbon mold by high-energy beam machining for direct imprint of glasses and metals

Youn S.-W, Okuyama C, Ueno A, Takagi H, Takahashi M, Maeda R

9th International Conference on Technology of Plasticity, ICTP 2008 1221-1226 2008年査読有り
Fabrication of micro-mold for glass embossing using focused ion beam, femto-second laser, eximer laser and dicing techniques

S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, R. Maeda

JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY 187 326-330 2007年6月査読有り
Comparison of age-hardening characteristic in thixo-cast and rheo-cast T5-A356 alloys by nanoindenter and AFM

H. Cho, S. W. Youn, C. G. Kang

ENGINEERING PLASTICITY AND ITS APPLICATIONS FROM NANOSCALE TO MACROSCALE, PTS 1 AND 2 340-341 919-+ 2007年査読有り
Thermal imprint process of parylene for MEMS applications

S. W. Youn, H. Goto, M. Takahashi, M. Ogiwara, R. Maeda

ENGINEERING PLASTICITY AND ITS APPLICATIONS FROM NANOSCALE TO MACROSCALE, PTS 1 AND 2 340-341 931-+ 2007年査読有り
Microstructuring of glassy carbon mold for glass embossing - Comparison of focused ion beam, nano/femtosecond-pulsed laser and mechanical machining

S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, R. Maeda

MICROELECTRONIC ENGINEERING 83(11-12) 2482-2492 2006年11月査読有り
Characterization of age-hardening behavior of eutectic surface on rheo-cast A356-T5 alloy by using nano/micro-indentation, scratching and atomic force microscopy

S. W. Youn, C. G. Kang

MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS 100(1) 117-123 2006年11月査読有り
Effect of nanoscratch conditions on both deformation behavior and wet-etching characteristics of silicon (100) surface

S. W. Youn, C. G. Kang

WEAR 261(3-4) 328-337 2006年8月査読有り
AFM, SEM and nano/micro-indentation studies of the fib-milled glassy carbon surface heat-treated at different conditions

S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda

DTIP 2006: Symposium on Design,Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2006 159-164 2006年査読有り

MISC

PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価

鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋

エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM) 32nd 2018年
配線基板作製に向けたナノインプリントモールドパターンの補正およびその作製工程

尹成圓, 鈴木健太, 廣島洋

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018 2018年
気泡欠陥防止のためのハイドロフルオロオレフィンガス雰囲気下でのUVナノインプリント技術

鈴木健太, 尹成圓, 高木秀樹, 廣島洋

エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM) 31st 2017年
エレクトロニクス実装技術の現状と展望ポリイミドの低温ナノインプリント技術を利用した銅/ポリイミド積層配線の作製

鈴木健太, 尹成圓, 高木秀樹

エレクトロニクス実装学会誌 19(1) 2016年
ポリイミドの低温微細成形〈感光性・可溶性ブロック共重合ポリイミドを用いた熱・光ナノインプリント法によるナノ/マイクロパターンの成形方法〉

尹成圓, 鈴木健太

プラスチックス 66(10) 2015年
A Study on Fabrication of Silicon Mold for Polymer Hot-embossing Using Focused Ion Beam Milling

YOUN S.-W.

Proc. AMPT, 2007 2007年
A study on focused ion beam milling of glassy carbon molds for the thermal imprinting of quartz and borosilicate glasses

Sung Won Youn, Masaharu Takahashi, Hiroshi Goto, Ryutaro Maeda

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 16(12) 2576-2584 2006年12月
The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns

S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 16(7) 1277-1284 2006年7月
Characterization of age-hardening behavior of eutectic region in squeeze-cast A356-T5 alloy using nanoindenter and atomic force microscope

S. W. Youn, C. G. Kang

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING 425(1-2) 28-35 2006年6月

尹成圓

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